[发明专利]半导体集成电路装置无效
| 申请号: | 200710184869.6 | 申请日: | 2007-10-30 |
| 公开(公告)号: | CN101174628A | 公开(公告)日: | 2008-05-07 |
| 发明(设计)人: | 古田博伺;门田顺治;内田祥三;松重宗明 | 申请(专利权)人: | 恩益禧电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/088 | 分类号: | H01L27/088;H01L27/11;H01L27/092 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 朱进桂 |
| 地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 集成电路 装置 | ||
1.一种半导体集成电路装置,包括:
第一和第二场效应晶体管,具有形成为环形的栅电极、在栅电极内侧形成的漏极扩散层、以及在栅电极外侧形成的源极扩散层;以及
衬底电势扩散层或阱电势扩散层,设置为与相同导电类型的第一和第二场效应晶体管的源极扩散层的每一个相接触,衬底电势扩散层或阱电势扩散层利用与源极扩散层不同导电类型的半导体形成,
其中将不同的信号输入到相同导电类型的第一和第二场效应晶体管的栅电极的每一个,
将衬底电势扩散层或阱电势扩散层形成于第一场效应晶体管的源极扩散层和第二场效应晶体管的源极扩散层之间,以及
沿第一方向在第一和第二场效应晶体管之间不存在隔离器件的绝缘膜,其中相同导电类型的第一和第二场效应晶体管沿所述第一方向设置。
2.根据权利要求1所述的半导体集成电路装置,其中将衬底电势扩散层或阱电势扩散层设置为围绕源极扩散层。
3.根据权利要求1所述的半导体集成电路装置,其中衬底电势扩散层或阱电势扩散层通过硅化扩散层与源极扩散层相连。
4.根据权利要求3所述的半导体集成电路装置,还包括接触部,所述接触部设置在源极扩散层和衬底电势扩散层或阱电势扩散层之间的边界线上。
5.根据权利要求3所述的半导体集成电路装置,其中没有将接触部设置到源极扩散层和衬底电势扩散层或阱电势扩散层的任一方。
6.根据权利要求1所述的半导体集成电路装置,其中第一和第二场效应晶体管的至少一个是用于形成触发器电路或锁存电路的一部分的晶体管。
7.根据权利要求1所述的半导体集成电路装置,其中第一和第二场效应晶体管形成SRAM单元电路的一部分。
8.一种半导体集成电路装置,包括:
第一导电类型的场效应晶体管,具有形成为环形的栅电极、在栅电极内侧形成的第一导电类型的漏极扩散层、在栅电极外侧形成的第一导电类型的源极扩散层、以及与第一导电类型不同的第二导电类型的衬底电势扩散层或阱电势扩散层,将所述衬底电势扩散层或阱电势扩散层形成于源极扩散层的外侧以与第一导电类型的源极扩散层相接触;以及
第二导电类型的场效应晶体管,具有形成为环形的栅电极、在栅电极内侧形成的第二导电类型的漏极扩散层、在栅电极外侧形成的第二导电类型的源极扩散层、以及与第二导电类型不同的第一导电类型的阱电势扩散层或衬底电势扩散层,将所述阱电势扩散层或衬底电势扩散层形成于源极扩散层的外侧以与第二导电类型的源极扩散层相接触,
其中第一导电类型的场效应晶体管通过硅化扩散层相连,以使得第一导电类型的源极扩散层与第二导电类型的衬底电势扩散层或阱电势扩散层是相同的电势,
第二导电类型的场效应晶体管通过硅化扩散层相连,以使得第二导电类型的源极扩散层与第一导电类型的阱电势扩散层或衬底电势扩散层是相同的电势,以及
第一导电类型的场效应晶体管和第二导电类型的场效应晶体管满足向每一个栅电极输入相同的信号,或满足每一个漏极扩散层是相同的电势。
9.根据权利要求8所述的半导体集成电路装置,其中第一导电类型的场效应晶体管和第二导电类型的场效应晶体管通过之间插入的隔离器件的绝缘膜而相邻;以及
第二导电类型的衬底电势扩散层或阱电势扩散层和第一导电类型的阱电势扩散层或衬底电势扩散层分别与隔离器件的绝缘膜相接触。
10.根据权利要求8所述的半导体集成电路装置,其中第一导电类型的场效应晶体管和第二导电类型的场效应晶体管作为反相器电路操作。
11.根据权利要求10所述的半导体集成电路装置,其中反相器电路作为具有多个串联连接的反相器电路的振荡器的一部分操作。
12.根据权利要求8所述的半导体集成电路装置,其中形成多个第一导电类型的场效应晶体管和多个第二导电类型的场效应晶体管,而沿与第一导电类型的场效应晶体管和第二导电类型的场效应晶体管之间的界面平行的第一方向,没有插入隔离器件的绝缘膜。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





