[发明专利]二维运动平台

权利要求书

1.一种二维运动平台，包括Y平台、安装在Y平台上的X平台、及安装在X平台上的工作台，X平台包括驱动工作台在X平台上运动的直线电机及支撑工作台的直线导轨，Y平台包括驱动X平台在Y平台上运动的直线电机及支撑X平台的直线导轨，其特征在于：所述X平台、Y平台分别包括底座，至少一底座上的直线电机定子上方安装磁屏蔽板。

2.根据权利要求1所述的二维运动平台，其特征在于：所述驱动X平台在Y平台上运动的直线电机包括两个或多个，所述直线电机的定子安装在Y平台底座上，动子安装在X平台底座上。

3.根据权利要求1或2所述的二维运动平台，其特征在于：所述驱动工作台在X平台上运动的直线电机包括两个或多个，所述直线电机的定子安装在X平台底座上，动子安装在工作台的底部。

4.根据权利要求1所述的二维运动平台，其特征在于：所述二维运动平台还包括反馈工作台运动位置的X平台位置反馈传感器，包括安装在X平台侧部的光栅尺和安装在工作台侧部的光栅尺读数头。

5.根据权利要求1所述的二维运动平台，其特征在于：所述二维运动平台还包括反馈工作台及X平台运动位置的Y平台位置反馈传感器，包括安装在Y平台侧部的光栅尺和安装在X平台侧部的光栅尺读数头。