[发明专利]液滴喷头的控制方法、绘图方法和液滴喷出装置

说明书

技术领域

本发明涉及液滴喷头的控制方法、绘图方法和液滴喷出装置。

背景技术

以往，对工件喷出液滴的装置周知液滴喷射式的液滴喷出装置。液滴喷出装置具有载置基板等工件并使工件向一方向移动的工作台和在工作台的上方位置沿与工作台的移动方向垂直的方向上配置的引导轨移动的滑架。滑架配置液滴喷射头(以下称为液滴喷头)，对工件喷出涂敷液滴。

对工件以液滴喷出涂敷的功能液采用各种材料。功能液多为根据温度而粘度变化的物体，通过粘度变化使流体抵抗变化。通过流体抵抗的变化，使在液滴喷头内的流路内流动的功能液的流速变化。通过功能液的流速的变化，使每一个点的喷出量变动，涂敷所需量的功能液曾是困难的。

为了解决该问题，专利文献1中公开了控制每一个点的喷出量的方法。根据该方法，其对驱动加压液滴喷头的腔室的压电元件的驱动波形、驱动电压和喷出的液体的温度进行控制。另外，为了控制液体的温度，在设置液滴喷头、供给管、罐上设置加热器。

专利文献：(日本)特开2003-26679号公報(JP2003-26679)

当加压液滴喷头的腔室时，对压电元件的动作施加的能量的一部分变为热，成为使液滴喷头的温度上升的原因。另外，压电元件未驱动时，压电元件不发热，液滴喷头放热，这成为温度变动的原因。液滴在液滴喷头、供给管、罐上使用加热器加热的方法对于暖化装置、在短时间内使液体温度变为规定温度是有效的。但是，液滴喷头的动作下的温度变动，会使得在用加热器加热而形成恒定温度的方法中不能够追随液体温度变动而控制的情况。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而研发的，其目的在于提供能够精度良好地控制喷出量的液滴喷出装置的控制方法、绘图方法合液滴喷出装置。

为了解决上述问题，本发明的液滴喷出装置，对液滴喷头的腔室加压，从与该腔室连通的喷咀向工件喷出功能液，其特征在于，具有使液滴喷头和工件相对移动的工作台，液滴喷头具有对腔室加压的加压部，在不从喷咀喷出功能液时，加压部以不从喷咀喷出功能液的程度多次连续对腔室加压，使功能液压力变动，加压部改变对腔室加压的压力的频率而进行加压。

根据该液滴喷出装置，液滴喷出装置具有包括腔室和与该腔室连通的喷咀的液滴喷头。另外，液滴喷出装置具有对腔室加压的加压部，对腔室加压从喷咀喷出功能液。并且，液滴喷头具有工作台，通过使液滴喷头和工件相对移动，使功能液喷出涂敷在工件的所需部位。另外，加压部以不从喷咀喷出功能液的程度多次连续对腔室加压使功能液压力变动。

功能液由于温度变化会使粘度变化，所以在液滴喷头内对功能液施加压力，在喷咀等的流路内通过时，流体抵抗变化，从喷咀喷出的功能液的喷出量变化。因此，温度变化少的状态下喷出的情况与温度变化大的情况相比，能够精度良好地控制喷出量而进行喷出。

使加压部不动作的情况下，液滴喷头放热而温度下降。另一方面，以不喷出功能液的程度使加压部动作的情况下，由加压部加压时的能量的一部分变为热，液滴喷头发热。并且，发热的液滴喷头的温度难以下降。

在不从喷咀喷出功能液时，加压部以不从喷咀喷出功能液的程度多次连续对腔室加压，使功能液压力变动，加压部改变对腔室加压的压力的压力变动的频率而进行加压。

加压部对腔室加压时，通过改变压力变动的频率，从而能够改变加压部施加给喷头的能量。加压部施加给喷头的能量呈多阶段变化时，通过提供近于与喷头放热的热量相当的能量，从而能够容易确保喷头的温度恒定。

另一方面，在不从喷咀喷出功能液时，加压部施加给喷头的能量只有一种的情况下，能将预定量的能量提供给液滴喷头。这时，液滴喷头放出的能量根据液滴喷头的周围流动的流体的温度和流速而不同，所以液滴喷头放出的能量和供给液滴喷头的能量会不同。结果，液滴喷头的温度根据液滴喷头的周围流动的流体的状态变动。

因此，根据液滴喷头的温度改变加压部施加给喷头的能量的情况，与加压部施加给喷头的能量只有一种的情况下，容易确保液滴喷头的温度恒定。结果，能够精度良好地控制喷出量进行喷出。

本发明的液滴喷出装置具有送风部，该送风部生成使液滴喷出装置产生的热移动并排出的气流，在不从喷咀喷出功能液时对腔室的加压，在液滴喷头位于风速快的部位时加压部对腔室加压的压力的频率，比在液滴喷头位于风速慢的部位时加压部对腔室加压的压力的频率高。

在此，风速表示存在于液滴喷出装置的气体流动时的流体的流速。