[发明专利]组合式化学过滤网结构

说明书

技术领域

本发明是有关一种组合式化学过滤网结构，尤其是指一种由单元体间活动堆栈组设，而该单元体内设有至少一个吸附装置，该吸附装置内设有吸附剂，而由抽换单元体的吸附装置而可更换吸附剂，使具自由搭配吸附剂种类、更换吸附剂而可重复使用及可视空间需求以活动堆栈组设，而适用于电子制造业的无尘室如：集成电路(Integrated Circuit，IC)、薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)、半导体制造业的无尘室或类似场地。

背景技术

随着半导体技术不断进步，集成电路(Integrated Circuit，IC)工艺线径不断的缩小，最新进的半导体技术已进入45nm，未来将更进一步地跨入22及32nm工艺技术，也由于IC线径不断的缩小，因此外部空气或无尘室内中含微污染(Airborne Molecular Contamination，AMC)物质，例如含硫物质：SO_X、H₂S、DMSO(Dimethyl Sulfoxide，(CH₃)₂SO)、DMS(Dimethyl Sulfide，(CH₃)₂S)等，酸性物质：NOX，碱性物质：NH₃、MEA(Monoethanol Amine，NH₂C₂H₄OH)等，含低沸点的挥发性有机化合物(Volatile Organic Compounds，VOCs)、IPA(Isopropyl Alcohol，C₃H₇OH)、丙酮等，以及含高沸点的挥发性有机化合物(Volatile Organic Compounds，VOCs)等，对于工艺良率的影响，日益扩大。为了提升工艺良率，半导体厂通常需于外气空调箱及气流循环区加装化学过滤网。

然，公知的化学滤网装置因其结构设计具固定的尺寸，所以实际装设时，通常需要调整环境的空间，以供容纳公知装置。而且，其占空间、制造成本较高。另外，公知装置当吸附剂吸附饱合后，而吸附剂更新不方便，又因化学废气的种类繁多，如：酸性物质、碱性物质、挥发性有机化合物(Volatile Organic Compounds，VOCs)，甚至也有酸碱混合型式的，而公知装置内设置的吸附剂种类通常是固定的，无法依实际需求而弹性搭配吸附剂来使用，故于实际使用上仍不符使用者的所需。

发明内容

本发明的目的在于提供一种组合式化学过滤网结构，以期更符合实际使用需求与使用更方便。

为实现上述目的，本发明提供的组合式化学过滤网结构，由复数个单元体相互活动结合而成，该单元体包括：

一单元框，该单元框设有至少一开口；以及

至少一吸附装置，该吸附装置与单元框互相活动结合，而该吸附装置包括有一支撑结构、至少二滤网及吸附剂，而该支撑结构的二外侧各结合有滤网，该吸附剂充填于该二滤网与支撑结构所形成的容置空间内；

当该吸附装置吸附饱满时，活动拆离该单元体而抽换该吸附装置而以利重复更换使用。

所述的组合式化学过滤网结构，其中，该吸附装置的支撑结构设有一启闭机构，当该吸附装置吸附饱满时，利用该启闭机构以抽换该吸附剂，以利重复更换使用。

所述的组合式化学过滤网结构，其中，该单元体系为上下堆栈相互结合成一体。

所述的组合式化学过滤网结构，其中，该单元体系为左右连接相互结合成一体。

所述的组合式化学过滤网结构，其中，该单元体系为上下堆栈与左右连接而相互结合成一体。

所述的组合式化学过滤网结构，其中，该单元框于侧边设有至少一结合固定部，该至少一结合固定部的中间设有贯穿孔，而该贯穿孔是供当复数个单元体活动结合后，以牙条穿入该结合固定部的贯穿孔内，供固定垂直堆栈的复数个单元体。

所述的组合式化学过滤网结构，其中，该单元框前方边框的上端及下端各设有复数个凸条，而该每二个凸条之间形成一凹槽，且该单元框的前方边框的上端凸条与该单元框的前方边框的下端凹槽对应设置，当复数个单元体垂直堆栈组合时，使位于堆栈上方单元体的前方边框下端凹槽与位于堆栈下方单元体的前方边框上端凸条相互套合，供堆栈的单元体之间相互气密结合。

所述的组合式化学过滤网结构，其中，该单元框于前方边框一侧的上端处凸出形成一上结合部，于另一侧下端处凸出形成一下结合部，供横向连结复数个单元体。