[发明专利]混合集成单纤三向器

权利要求书

1.一种混合集成单纤三向器，其特征在于，包括：

一衬底(100)；

一粗波分复用阵列波导光栅(11)，该阵列波导光栅(11)制作在衬底(100)的上面；

一第一输入波导(10)，该第一输入波导(10)制作在衬底(100)上，该第一输入波导(10)在阵列波导光栅(11)的一侧；

一第一输出波导(12)，该输出波导(12)制作在衬底(100)上，位于阵列波导光栅(11)的另一侧；

一第二输出波导(14)，该输出波导(14)制作在衬底(100)上，与第一输出波导(12)位于阵列波导光栅同一侧；

一第二输入波导(13)，该第二输入波导(13)制作在衬底(100)上，其一端与阵列波导光栅(11)相连；

第一输出波导(12)、第二输出波导(14)和第二输入波导(13)同处于阵列波导光栅(11)的同一侧，与阵列波导光栅(11)的三条输出波导相连；

一激光器(15)，该激光器(15)混合集成在衬底(100)上，该激光器(15)的输出端与第二输入波导(13)的一端相连接；

一第一监视面探测器(16)，该监视探测器(16)混合集成在第一输出波导(12)上，该监视探测器(16)的接收窗口与第一输出波导(12)的末端上侧相连接；

一第二监视面探测器(17)，该监视探测器(17)混合集成在第二输出波导(14)上，该监视探测器(17)的接收窗口与第二输出波导(14)的末端上侧相连接。

2.根据权利要求1所述的混合集成单纤三向器，其特征在于，所述第一输出波导(12)的末端抛光为45度角。

3.根据权利要求1所述的混合集成单纤三向器，其特征在于，所述第二输出波导(14)的末端抛光为45度角。

4.根据权利要求1所述的混合集成单纤三向器，其特征在于，所述监视探测器(16)的接收窗口与所述第一输出波导(12)的末端上侧通过45度反射相连接。

5.根据权利要求1所述的混合集成单纤三向器，其特征在于，所述监视探测器(17)的接收窗口与所述第二输出波导(14)的末端上侧通过45度反射相连接。

6.根据权利要求1所述的混合集成单纤三向器，其特征在于，所述第一输入波导(10)为公用波导，其下传信号波长为1490nm和1550nm，上传信号波长为1310nm。

7.根据权利要求1所述的混合集成单纤三向器，其特征在于，所述阵列波导光栅(11)有一条输入波导和三条输出波导，输入波导与第一输入波导(10)相连，中间输出波导与第二输入波导(13)相连，另外二条输出波导分别与第一输出波导(12)、第二输出波导(14)相连；阵列波导光栅(11)正向工作用于1490nm和1550nm下行波长的分波，输出到第一输出波导(12)和第二输出波导(14)，逆向工作用于1310nm上行波长的上传，通过中间输出波导逆向上传到第一输入波导(10)；三个波长工作于阵列波导光栅(11)三个不同的衍射级数。

8.根据权利要求1所述的混合集成单纤三向器，其特征在于，所述第一输出波导(12)和第二输出波导(14)可传输1490nm或1550nm下行波长。

9.根据权利要求1所述的混合集成单纤三向器，其特征在于，所述衬底(100)的材料是绝缘层上硅，其中上层硅厚度在2μm到11μm之间，刻蚀波导的宽度和深度符合波导的单模条件。