[发明专利]一种差动电容式微机械加速度计

权利要求书

1.一种差动电容式微机械加速度计，其特征在于：包括一个由硅片、绝缘层和可动电极构成的敏感质量元件、固定电极、基片、折叠梁、立柱；其中敏感质量元件的主体为硅片，可动电极以栅状等间距分布在硅片下表面上，绝缘层将各个可动电极在空间上隔离开；折叠梁构造在敏感质量元件两端，并通过立柱固定于基片上，使整个可动电极平面相对基片悬空平行；该固定电极等间距布置在基片上，固定电极与可动电极交错配置，形成一组差动电容。

2.如权利要求1所述的差动电容式微机械加速度计，其特征在于，所述硅片采用整体式长方体构成敏感质量块。

3.如权利要求2所述的差动电容式微机械加速度计，其特征在于，可动电极由集成电路加工工艺形成在敏感质量块表面上。

4.如权利要求1所述的差动电容式微机械加速度计，其特征在于，在敏感质量元件两端设置有双向凸形防冲击止档。

5.如权利要求1所述的差动电容式微机械加速度计，其特征在于，在基片上设置有防电极吸合止档。

6.如权利要求1所述的差动电容式微机械加速度计，其特征在于，所述基片采用玻璃衬底作材料。