[发明专利]一种光学相位延迟精密测量方法及其系统

权利要求书

1.一种光学相位延迟精密测量方法，其步骤为：

1)将激光发出的光依次经过起偏器、光调制器、待测相位延迟器、相位补偿器、检偏器、光探测器后由结果显示单元显示输出结果；

2)给光调制器加上调制信号，使出射光两个正交偏振态的相位延迟产生交流变化；

3)结果显示单元对接收的信号进行滤波处理，将直流零点的测量转换为交流零点的测量；

4)调节相位补偿器，记录结果显示单元出现消光位置时相位补偿器的补偿量δ_c；

5)计算待测器件的相位延迟量δ_s＝π-δ_c。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述光调制器为KD*P晶体电光调制器，调制方式为纵向调制，所述调制信号源为正弦调制信号。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于所述调制信号源频率为2kHz，所述信号处理电路滤波频率为4kHz。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述相位补偿器为索累补偿器，所述索累补偿器的入射面晶体楔装有微动螺旋，通过调节所述微动螺旋使之相对入射面做平行移动，光通过所述索累补偿器后产生的相位延迟量正比于补偿器晶体楔的平移量。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于所述索累补偿器测量前进行线性定标。

6.一种光学相位延迟精密测量系统，包括激光器、起偏器、光调制器、调制信号源、待测相位延迟器、相位补偿器、检偏器、光探测器、结果输出单元，其特征在于所述激光器发出的光依次经过所述起偏器、光调制器、待测相位延迟器、相位补偿器、检偏器、光探测器、信号处理电路后由结果显示单元显示输出结果，所述调制信号源与所述光调制器通过信号线连接。

7.如权利要求6所述的系统，其特征在于所述光调制器为KD*P晶体电光调制器，调制方式为纵向调制，所述调制信号源为正弦调制信号。

8.如权利要求6或7所述的系统，其特征在于所述调制信号源频率为2kHz，所述信号处理电路滤波频率为4kHz。

9.如权利要求6所述的系统，其特征在于所述相位补偿器为索累补偿器。

10.如权利要求9所述的系统，其特征在于所述索累补偿器的入射面晶体楔装有微动螺旋，通过调节所述微动螺旋使之相对入射面做平行移动。