[发明专利]一种气路控制方法和装置

权利要求书

1.一种开启和关闭气路的控制方法，其特征在于，包括：

当执行开启气路操作时，针对该气路的前阀、后阀以及质量流量控制器执行以下操作：

步骤A1：通知开启后阀；

步骤A2：设定质量流量控制器的流量；

步骤A3：通知开启前阀；

开启气路操作实际动作执行顺序是：后阀和前阀先开，质量流量控制器后调整到设定流量；

当执行关闭气路操作时，针对该气路的前阀、后阀以及质量流量控制器执行以下操作：

步骤B1：延时预置的第一时间后通知关闭后阀，所述第一时间与后阀内部延时时间之和小于质量流量控制器的内部延时时间；

步骤B2：设定质量流量控制器的流量为0；

步骤B3：延时预置第二时间后通知关闭前阀，所述第二时间与前阀内部延时时间之和大于质量流量控制器的内部延时时间；

关闭气路操作时，通过预置的第一时间和第二时间的延时，保证先关闭后阀，然后质量流量控制器流量调整到0，关闭前阀。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，当执行开启气路操作时，还包括：

判断主管路控制阀是否已打开，如果否，则通知开启主管路控制阀。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，当执行关闭气路操作时，还包括：

记录各个气路的开关状态；

设定该待关闭气路的开关状态为关；

判断当前的所有气路是否全部为关闭状态，如果是，则通知关闭主管路控制阀。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，当执行关闭气路操作时，还包括：

启动后阀的关闭线程，所述后阀关闭线程用于延时预置第一时间后通知关闭后阀；

启动前阀的关闭线程，所述前阀关闭线程用于延时预置第二时间后通知关闭前阀。

5.一种气路控制方法，其特征在于，包括：

获取待控制气路的上一次流量设定值以及本次流量设定值；

比较上一次流量设定值与本次流量设定值；如果差值的绝对值小于或者等于一定阈值，则不予进行流量控制操作；如果差值的绝对值大于一定阈值，则选择执行下述一操作：

A、如果需要执行开启气路操作，则针对该气路的前阀、后阀以及质量流量控制器执行以下操作：

步骤A1：通知开启后阀；

步骤A2：设定质量流量控制器的流量；

步骤A3：通知开启前阀；

开启气路操作实际动作执行顺序是：后阀和前阀先开，质量流量控制器后调整到设定流量；

B、如果需要执行关闭气路操作，则针对该气路的前阀、后阀以及质量流量控制器执行以下操作：

步骤B1：延时预置的第一时间后通知关闭后阀，所述第一时间与后阀内部延时时间之和小于质量流量控制器的内部延时时间；

步骤B2：设定质量流量控制器的流量为0；

步骤B3：延时预置第二时间后通知关闭前阀，所述第二时间与前阀内部延时时间之和大于质量流量控制器的内部延时时间；

关闭气路操作时，通过预置的第一时间和第二时间的延时，保证先关闭后阀，然后质量流量控制器流量调整到0，关闭前阀；

C、否则，设定质量流量控制器的流量，通知质量流量控制器在上一次流量设定值的基础上进行流量调节。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，当执行开启气路操作时，还包括：

判断主管路控制阀是否已打开，如果否，则通知开启主管路控制阀。

7.如权利要求5所述的方法，其特征在于，当执行关闭气路操作时，还包括：

记录各个气路的开关状态；

设定该待关闭气路的开关状态为关；

判断当前的所有气路是否全部为关闭状态，如果是，则通知关闭主管路控制阀。

8.如权利要求5所述的方法，其特征在于，当执行关闭气路操作时，还包括：

启动后阀的关闭线程，所述后阀关闭线程用于延时预置第一时间后通知关闭后阀；

启动前阀的关闭线程，所述前阀关闭线程用于延时预置第二时间后通知关闭前阀。