[发明专利]一种全折射非球面投影光学系统

权利要求书

1.一种全折射非球面投影光学系统，沿其光轴方向包括前组、孔径光阑和后组，其特征在于：该前组和该后组的透镜组件以该孔径光阑为对称面光学结构完全对称，该前组从物面一侧顺次是具有正光焦度的第一镜组(G1)及具有负光焦度的第二镜组(G2)，该第一及第二镜组(G1、G2)由第一到第九透镜(L1-L9)组成；该后组从物面一侧顺次是具有负光焦度的第三镜组(G3)及具有正光焦度的第四镜组(G4)，该第三及第四镜组(G3、G4)由第十到第十八透镜(L10-L18)组成，其中，该第一、第七、第八、第十一、第十二及第十八透镜(L1、L7、L8、L11、L12、L18)的单面为非球面，所述孔径光阑放置于该第二镜组(G2)和第三镜组(G3)之间。

2.如权利要求1所述的全折射非球面投影光学系统，其特征在于：该第一镜组(G1)沿其光轴方向包括第一到第六透镜(L1-L6)，其中该第一透镜(L1)是双凹负透镜且其出射表面是非球面，该第二透镜(L2)是凹面朝向物面一侧的弯月正透镜，该第三透镜(L3)是凹面朝向物面一侧的弯月负透镜，该第四及第五透镜(L4-L5)是双凸正透镜，该第六透镜(L6)是双凹负透镜。

3.如权利要求1所述的全折射非球面投影光学系统，其特征在于：该第二镜组(G2)包括第七到第九透镜(L7-L9)，其中该第七透镜(L7)是双凹负透镜，该第八透镜(L8)是双凸正透镜，该第九透镜(L9)是凹面朝向物面一侧的弯月负透镜，且该第七与第八透镜(L7、L8)的出射表面是非球面。

4.如权利要求1所述的全折射非球面投影光学系统，其特征在于：该第三镜组(G3)具有透镜第十到第十二透镜(L10-L12)，该组透镜的光学参数分别与该第二镜组(G2)的第九到第七透镜(L9-L7)关于该孔径光阑对称，该第十一及第十二透镜(L11、L12)的入射表面是非球面。

5.如权利要求1所述的全折射非球面投影光学系统，其特征在于：该第四镜组(G4)具有第十三到第十八透镜(L13-L18)，该组透镜的光学参数分别与该第一镜组(G1)的第六到第一透镜(L6-L1)关于该孔径光阑对称，该第十八透镜(L18)的入射表面是非球面。

6.如权利要求1所述的全折射非球面投影光学系统，其特征在于：该第一及第十八透镜(L1、L18)选择低折射率、低色散系数、高透过率的冕牌玻璃。

7.如权利要求1所述的全折射非球面投影光学系统，其特征在于：该第二及第十七透镜(L2、L17)选择高折射率、高色散系数、高透过率的火石玻璃。

8.如权利要求1所述的全折射非球面投影光学系统，其特征在于：该第三及第十六透镜(L3、L16)选择高折射率、高色散系数、高透过率的火石玻璃。

9.如权利要求1所述的全折射非球面投影光学系统，其特征在于：该第四、第八、第十一及第十五透镜(L4、L8、L11、L15)选择具有特殊色散能力的高透过率冕牌玻璃。

10.如权利要求1所述的全折射非球面投影光学系统，其特征在于：该第五、第七、第十二及第十四透镜(L5、L7、L12、L14)选择高折射率、高色散系数、高透过率的火石玻璃。

11.如权利要求1所述的全折射非球面投影光学系统，其特征在于：该第六及第十三透镜(L6、L13)选择低折射率、低色散系数、高透过率的冕牌玻璃。

12.如权利要求1所述的全折射非球面投影光学系统，其特征在于：该第九及第十透镜(L9、L10)选择高折射率、高色散系数、高透过率的火石玻璃。