[发明专利]工件台平衡质量定位系统

权利要求书

1.一种工件台平衡质量定位系统，应用于光刻机中对系统工件台的减振，其包括系统框架、基础框架、硅片承载台、气浮系统、及运动限位装置，该系统框架通过该气浮系统相对该基础框架运动，该运动限位装置位于该系统框架的四个角点位置用以圈定该定位系统在该基础框架上作平面运动的极限位置，其特征在于进一步包括：

X向和Y向长行程模块，以实现上述硅片承载台相对于上述系统框在X、Y两个方向上的独立运动；

纠偏和防漂装置，用于补偿平衡质量系统框架在X向、Y向和Rz向的位置漂移；及

垂向微调及重力补偿装置，安装在上述X向和Y向长行程模块上与该承载微动台之间，用以支撑硅片承载微动台几乎全部的静态重量，并兼有z、Rx、Ry三方向自由度的微调整功能。

2.如权利要求1所述的工件台平衡质量定位系统，其特征在于：该X向和Y向长行程模块包括Y向长行程电机和X向长行程电机。

3.如权利要求2所述的工件台平衡质量定位系统，其特征在于：该Y向长行程电机和该X向长行程电机进一步包括Y1向长行程驱动电机定子、Y1向长行程驱动电机动子、X向长行程驱动电机定子、Y2向长行程驱动电机动子、Y2向长行程驱动电机定子，该X向长行程电机的该等定子与该Y向两组长行程电机的该等动子安装在一起。

4.如权利要求3所述的工件台平衡质量定位系统，其特征在于：该Y向长行程电机的个数为2个，该X向长行程电机的个数为1个。

5.如权利要求1所述的工件台平衡质量定位系统，其特征在于：该等垂向微调及重力补偿装置包括重力补偿器及垂向执行器，该重力补偿器用于支撑该承载微动台的静态重量，该垂向执行器作为z向微动补偿器，用以实现该承载微动台的z向微补偿及精密定位。

6.如权利要求5所述的工件台平衡质量定位系统，其特征在于：该垂向执行器进一步包括联结在该承载微动台一侧的音圈电机，以实现该硅片承载微动台在水平方向x、y、Rz三自由度的微调整。

7.如权利要求6所述的工件台平衡质量定位系统，其特征在于：该垂向执行器进一步包括在水平向具有自适应的调整功能的支撑簧片，以实现垂向微调及重力补偿装置在垂向作微小位移时运动的完全解耦。

8.如权利要求7所述的工件台平衡质量定位系统，其特征在于：该重力补偿器进一步包括环状气浮，其与支撑簧片一起用以补偿该微动台的水平移动以及该音圈电机的垂向运动。

9.如权利要求8所述的工件台平衡质量定位系统，其特征在于：该重力补偿器进一步包括簧片支撑机构，以实现微动台位姿微调时水平向和垂向运动的完全解耦。

10.如权利要求1所述的工件台平衡质量定位系统，其特征在于：该等垂向微调及重力补偿装置的个数为3个。