[发明专利]点衍射干涉仪

权利要求书

1.一种点衍射干涉仪，包括沿光路依次排列的光源模块、可产生理想球面波的掩模、可产生多级次衍射光的光学衍射元件、光学元件以及图像传感器，将一被测光学系统放置于所述掩模与光学衍射元件之间，其特征在于，所述光学元件可以全部透过部分级次的衍射光，而其中某一级次的衍射光的一部分透过而另外一部分被衍射。

2.如权利要求1所述的点衍射干涉仪，其特征在于，所述光学元件包括多个可透过衍射光的窗口，其中至少有一个窗口为双通道窗口，所述双通道窗口由小孔以及透过率较低的区域组成。

3.如权利要求2所述的点衍射干涉仪，其特征在于，所述双通道窗口用于选择0级衍射光。

4.如权利要求1所述的点衍射干涉仪，其特征在于，所述光学衍射元件为振幅光栅或位相光栅。

5.如权利要求1所述的点衍射干涉仪，其特征在于，对多路带有不同相移的衍射光的光信号信息求解，以获取所述被测光学系统的波像差。

6.如权利要求1所述的点衍射干涉仪，其特征在于，所述掩模上设有能产生理想球面波小孔。

7.如权利要求1所述的点衍射干涉仪，其特征在于，所述掩模上设有小孔阵列，通过同时移动所述光学衍射元件、图像传感器以及光学元件，以获取所述被测光学系统在不同视场位置处的波像差。

8.如权利要求1所述的点衍射干涉仪，其特征在于，所述的光源模块产生的光包括相干光与非相干光。

9.一种点衍射干涉仪，其包括光源模块、可产生理想球面波的掩模、可产生多级次衍射光的光学衍射元件，图像传感器以及光学元件，将一被测光学系统放置于所述掩模与光学衍射元件之间，其特征在于，所述光学元件可以全部透过部分级次的衍射光，而其中某一级次的衍射光被衍射。

10.如权利要求9所述的点衍射干涉仪，其特征在于，所述的光学元件包括多个可透过衍射光的窗口以及可通过衍射产生理想球面波的小孔。

11.如权利要求9所述的点衍射干涉仪，其特征在于，所述光学衍射元件为振幅光栅或位相光栅。

12.如权利要求9所述的点衍射干涉仪，其特征在于，对多路带有不同相移的衍射光的光信号信息求解，以获取所述被测光学系统的波像差。

13.如权利要求9所述的点衍射干涉仪，其特征在于，所述掩模上设有能产生理想球面波小孔。

14.如权利要求9所述的点衍射干涉仪，其特征在于，所述掩模上设有小孔阵列，通过同时移动所述光学衍射元件、图像传感器以及光学元件，以获取所述被测光学系统在不同视场位置处的波像差。

15.如权利要求9所述的点衍射干涉仪，其特征在于，所述的光源模块产生的光包括相干光与非相干光。

16.一种点衍射干涉仪，其包括：光源模块，可产生空间相干光，使得掩模上的小孔以及窗口的光空间相干，具有可通过衍射产生理想球面波的小孔以及高透过率窗口的掩模、可产生多级次衍射光的光学衍射元件、图像传感器以及光学元件，将一被测光学系统放置于所述掩模与光学衍射元件之间，其特征在于，所述光学元件由多个窗口与小孔构成，其中，所述窗口可以选择性的透过部分级次的衍射光，而未被衍射的光则经过所述光学元件上的小孔衍射。

17.如权利要求16所述的点衍射干涉仪，其特征在于，所述光源模块可由非相干光源与可产生衍射的光学元件构成。

18.如权利要求16所述的点衍射干涉仪，其特征在于，对多路带有不同相移的衍射光的光信号信息求解，以获取所述被测光学系统的波像差。

19.如权利要求16所述的点衍射干涉仪，其特征在于，所述掩模上设有多个小孔与窗口的阵列，通过同时移动所述光学衍射元件、图像传感器以及光学元件，以获取所述成像系统在不同视场位置处的波像差。