[发明专利]感光性组合物和图像形成方法无效
| 申请号: | 200710169939.0 | 申请日: | 2004-09-22 |
| 公开(公告)号: | CN101165593A | 公开(公告)日: | 2008-04-23 |
| 发明(设计)人: | 水上润二;龟山泰弘;利光惠理子;瑞穗右二 | 申请(专利权)人: | 三菱化学株式会社;日本合成化学工业株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/031 | 分类号: | G03F7/031;G03F7/00 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 丁香兰;谢栒 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 感光性 组合 图像 形成 方法 | ||
1.一种感光性组合物,所述组合物包含下列通式(XI)至(XIII)代表的增感剂中的至少一种类型:
上述通式(XI)~(XIII)中,环A~G各自彼此独立地具有作为基本骨架的芳烃环或芳香杂环,环A和B、环D和E、或者环F和G选择性地互相键连形成包含N的键合环;上述通式(XII)中,连接基团L代表包含芳烃环和/或芳香杂环的连接基团,连接基团L和N通过所述芳烃环或芳香杂环键连,n代表至少2的整数;通式(XIII)中,R代表选择性具有取代基的烷基;环A~G和连接基团L选择性具有取代基,该取代基选择性地互相键连成环。
2.如权利要求1所述的感光性组合物,其特征在于,环A至G各自彼此独立地具有作为基本骨架的以下芳烃环或以下芳香杂环,所述芳烃环选自:苯环、萘环、蒽环、菲环、甘菊环、芴环、苊烯环和茚环;所述芳香杂环选自:呋喃环、噻吩环、吡咯环、噁唑环、异噁唑环、噻唑环、异噻唑环、咪唑环、吡唑环、呋咱环、三唑环、吡喃环、噻二唑环、噁二唑环、吡啶环、哒嗪环、嘧啶环和吡嗪环,连接基团L包含一个或多个选自上述芳烃环和芳香杂环的环,当它包含两个或多于两个的环时,所述环是直接连接的或经由二价或高于二价的连接基团连接。
3.如权利要求1或2所述的感光性组合物,其特征在于,环A至G和连接基团L选择性具有的取代基选自:卤素原子;羟基;硝基;氰基;羧基;和选择性地具有取代基的以下基团:烷基、环烷基、链烯基、环烯基、烷氧基、烷硫基、芳基、芳烷基、烯氧基、烯硫基、酰基、酰氧基、氨基、酰氨基、氨基甲酸酯基、氨甲酰基、羧酸酯基、氨磺酰基、磺酸酯基、由-C=N代表的基团、由-C=N-N代表的基团和饱和或不饱和杂环基。
4.如权利要求1~3任一项所述的感光性组合物,其中,所述由通式(XI)至(XIII)代表的增感剂在330~450 nm波长范围内具有最大吸收。
5.如权利要求1~4任一项所述的感光性组合物,所述组合物包括光聚合性感光性组合物,所述光聚合性感光性组合物含有烯属不饱和化合物和一种或一种以上的光聚合引发剂,所述光聚合引发剂选自由六芳基二咪唑型化合物、卤代烃衍生物、碘鎓盐、有机硼酸盐和二茂钛型化合物组成的组。
6.如权利要求5所述的感光性组合物,其中,所述光聚合引发剂是六芳基二咪唑型化合物。
7.如权利要求1~4任一项所述的感光性组合物,所述组合物还包含光酸产生剂。
8.如权利要求7所述的感光性组合物,所述组合物还包含以下组分(N-1)和(N-2):(N-1)碱溶性树脂;和(N-2)在酸性条件下作用于所述碱溶性树脂的交联剂。
9.如权利要求7所述的感光性组合物,所述组合物还包含以下组分(P-1):(P-1)含有酸分解性基团的聚合物。
10.一种图像形成方法,其特征在于,利用诸如氦氖激光器、氩离子激光器、钇铝石榴石激光器、HeCd激光器、半导体激光器或红宝石激光器的曝光光源对权利要求1~9任一项所述的感光性组合物进行扫描曝光,然后将所述组合物显影。
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