[发明专利]一种多晶硅铸锭炉

说明书

一、技术领域

本发明涉及一种多晶硅铸锭炉，特别涉及太阳能多晶硅的铸 锭炉。

二、背景技术

现有技术中的多晶硅铸锭生产方法，一种是保持加热器和保温罩 不动，向下移动装有熔化后多晶硅料的坩埚；使装有熔化后多晶硅料 与加热器相对位置发生变化，慢慢移出加热器，从而使熔化后多晶硅 料形成纵向温度梯度，熔化后多晶硅料慢慢结晶，最终形成多晶硅铸 锭。另一种是保持加热器和坩埚不动，向上移动保温罩，使保温罩与 下保温底板之间脱离形成一个缝隙，热量从缝隙中泄漏，坩埚底部冷 却，从而使熔化后多晶硅料形成纵向温度梯度，熔化后多晶硅料慢慢 结晶，最终形成多晶硅铸锭。这两种方法为了形成多晶硅料的纵向温 度梯度，移动的部件体积大、重量大，运动过程中容易发生振动、爬 行等，影响多晶硅的结晶质量。

三、技术内容

针对上述现有技术存在的缺陷，本发明目的在于提供一种结构简 单，运动轻巧平稳，安装使用方便，工艺可靠的一种多晶硅铸锭炉。

图1为本发明的结构示意图；

参见图1所示，本发明的多晶硅铸锭炉，包括炉底2通过液压提 升油缸20与炉筒6相连接并通过支腿5、调整垫铁4安装在机座1 上，炉盖9安装在炉筒6上，炉底2上设置有观察孔3，安装着由滑座 25、丝杠26、减速器27、电机28、导向导轨29等组成的下传动部 件，滑座25通过连杆23与保温底板21连接，并通过波纹管24实现密 封，滑座25移动通过连杆23带动保温底板21移动，使得保温底板21 与保温罩15脱开满足工艺需要。炉底2内装有支撑柱22支撑导热块 18，导热块18上面放置被加热的多晶硅料及坩埚系统16，多晶硅料及 坩埚系统16通过加热器17进行加热，加热器17的加热能量通过水冷 电缆11和电极8传送，电极8通过绝缘套14与炉盖9连接；保温罩 15通过支脚19与炉筒6固定，炉筒6又抽真空口7，炉盖9上部安装 着观察孔12和充气孔13；温度传感器10、30、31用来测量工艺温 度；液压提升油缸20用来升降炉底2，实现装料、取料工作。

工作时，启动液压提升油缸20，降下炉底2、导热块18、保温底 板21及滑座25、丝杠26、减速器27、电机28、导向导轨29等组成 的下传动部件；将多晶硅料及坩埚系统16放置在导热块18上，然 后，闭合下炉底2等，加热多晶硅料，直至熔化；随后，调节下传 动，带动保温底板21按工艺要求下降，使保温罩15内的温度发生变 化，实现多晶硅料的定向凝固生长；

本发明具有结构简单，运动轻巧平稳，安装使用方便，工艺可靠等 特点，广泛用于太阳能多晶硅铸锭的制备和其它材料的定向凝固生 长。