[发明专利]压电薄膜谐振器和使用该压电薄膜谐振器的滤波器有效
| 申请号： | 200710167454.8 | 申请日： | 2007-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN101170303A | 公开（公告）日： | 2008-04-30 |
| 发明（设计）人： | 原基扬;西原时弘;上田政则;远藤刚 | 申请（专利权）人： | 富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉;吕俊刚 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 谐振器 使用 滤波器 | ||
1.一种压电薄膜谐振器，该压电薄膜谐振器包括：
由基板支撑的下部电极，在该下部电极的下方限定有一空间；
设置在所述下部电极和所述基板上的压电膜；以及
上部电极，该上部电极设置在所述压电膜上以形成谐振部分，在该谐振部分中，所述上部电极隔着所述压电膜与所述下部电极面对，
所述下部电极和所述上部电极中的至少一个具有互连部分，该互连部分用于从所述谐振部分提取信号并位于所述空间的上方，
所述下部电极和所述上部电极中的所述至少一个在其中所述下部电极和所述上部电极中的所述至少一个与所述压电膜接触的区域中具有第一质量每单位面积，并且在所述谐振部分中具有第二质量每单位面积，所述第一质量每单位面积小于所述第二质量每单位面积。
2.根据权利要求1所述的压电薄膜谐振器，其中，所述下部电极和所述上部电极中的所述至少一个具有在所述互连部分中的第一部分和在所述谐振部分中的第二部分，所述第一部分比所述第二部分薄。
3.根据权利要求1所述的压电薄膜谐振器，其中，所述下部电极和所述上部电极中的所述至少一个具有在所述互连部分中的第一部分和在所述谐振部分中的第二部分，所述第一部分的密度比所述第二部分的密度小。
4.根据权利要求1所述的压电薄膜谐振器，其中，所述下部电极和所述上部电极中的所述至少一个在所述互连部分中具有开口。
5.根据权利要求1所述的压电薄膜谐振器，其中，所述下部电极和所述上部电极中的所述至少一个在所述基板上在所述互连部分中限定有一空间。
6.根据权利要求1所述的压电薄膜谐振器，其中，所述压电膜由长轴方向为(002)方向的AlN或ZnO制成。
7.一种滤波器，该滤波器由多个谐振器构成，该多个谐振器包括这样的谐振器，该谐振器包括：
由基板支撑的下部电极，在该下部电极的下方限定有一空间；
设置在所述下部电极和所述基板上的压电膜；以及
上部电极，该上部电极设置在所述压电膜上以形成谐振部分，在该谐振部分中，所述上部电极隔着所述压电膜与所述下部电极面对，
所述下部电极和所述上部电极中的至少一个具有互连部分，该互连部分用于从所述谐振部分提取信号并位于所述空间的上方，
所述下部电极和所述上部电极中的所述至少一个在其中所述下部电极和所述上部电极中的所述至少一个与所述压电膜接触的区域中具有第一质量每单位面积，并且在所述谐振部分中具有第二质量每单位面积，所述第一质量每单位面积小于所述第二质量每单位面积。
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