[发明专利]一种采用溶胶－凝胶工艺制备钛酸铝薄膜的方法

权利要求书

1.一种采用溶胶-凝胶工艺制备钛酸铝薄膜的方法，依次包括如下步骤：

①以硝酸铝Al(NO₃)₃·9H₂O和钛醇盐或四氯化钛TiCl₄为前驱体，以低碳醇为溶剂，以乙酰丙酮、冰醋酸或乙二醇为稳定剂，按铝、钛摩尔比2∶1配制浓度为0.3～1.2mol/L的前驱体混合醇溶液；

②加入硝酸将前驱体混合醇溶液的pH值调到1～4，加入适量的干燥控制化学添加剂，剧烈搅拌后得到钛酸铝溶胶，再经陈化、真空脱泡处理，得到粘度为1.5～25mPa·s的钛酸铝镀膜溶胶；

③将钛酸铝溶胶均匀地镀在基片上，经室温陈化、干燥后得到均匀、无缺陷的的干凝胶膜。可通过多次镀膜直至所需的膜厚，但重复镀膜前需将已镀的钛酸铝干凝胶膜进行低温煅烧处理；

④干凝胶膜最终经过高温煅烧获得均匀、致密的钛酸铝薄膜。

2.根据权利要求1所述的制备钛酸铝薄膜的方法，其特征是在所述的步骤③中，室温陈化时间为12～48h。

3.根据权利要求2所述的制备钛酸铝薄膜的方法，其特征是所用的钛醇盐是钛酸乙酯、钛酸丙酯、钛酸异丙酯、钛酸丁酯、钛酸异丁酯、钛酸叔丁酯中的一种，所用的溶剂醇是含2～4个碳原子的低碳醇。

4.根据权利要求1所述的制备钛酸铝薄膜的方法，其特征是所用的稳定剂与钛前驱体的摩尔比为1～4；所用的干燥控制化学添加剂是甘油、丁二醇和甲酰胺中的一种。