[发明专利]自润滑耐磨类石墨/TiC梯度复合薄膜无效
| 申请号: | 200710164838.4 | 申请日: | 2007-12-25 |
| 公开(公告)号: | CN101209606A | 公开(公告)日: | 2008-07-02 |
| 发明(设计)人: | 涂江平;李瑞玲;洪春福;邬震泰 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
| 主分类号: | B32B15/04 | 分类号: | B32B15/04;B32B33/00;B32B9/00;C23C30/00;C23C14/35 |
| 代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人: | 韩介梅 |
| 地址: | 310027浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 润滑 耐磨 石墨 tic 梯度 复合 薄膜 | ||
1.自润滑耐磨类石墨/TiC梯度复合薄膜,其特征是在合金表面依次镀覆由厚度50~250nm的TiC层、厚度100~500nm的类石墨:TiC复合过渡层和厚度300~1250nm的类石墨层所构成的类石墨/TiC梯度复合薄膜,梯度复合薄膜含有重量百分比为:54~75%类石墨,25~46%TiC,梯度复合薄膜的总厚度为0.45~2.0μm。
2.根据权利要求1所述的自润滑耐磨类石墨/TiC梯度复合薄膜,其特征是梯度复合薄膜中TiC层的厚度为50nm、类石墨:TiC复合过渡层的厚度为100nm、类石墨层的厚度为300nm,梯度复合薄膜的总厚度为0.45μm。
3.根据权利要求1所述的自润滑耐磨类石墨/TiC梯度复合薄膜,其特征是梯度复合薄膜中TiC层的厚度为100nm、类石墨:TiC复合过渡层的厚度为200nm、类石墨层的厚度为700nm,梯度复合薄膜的总厚度为1.0μm。
4.根据权利要求1所述的自润滑耐磨类石墨/TiC梯度复合薄膜,其特征是梯度复合薄膜中TiC层的厚度为250nm、类石墨:TiC复合过渡层的厚度为500nm、类石墨层的厚度为1200nm,梯度复合薄膜的总厚度为2.0μm。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的自润滑耐磨类石墨/TiC梯度复合薄膜,其特征是在类石墨层和类石墨:TiC复合过渡层中的类石墨的C-C结构中sp2键含量45~65%。
6.根据权利要求1或2或3或4所述的自润滑耐磨类石墨/TiC梯度复合薄膜,其特征是在类石墨:TiC复合过渡层中TiC以平均尺寸为8~30nm的颗粒分布在类石墨基体中。
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