[发明专利]氧化物烧结体、其制造方法、透明导电膜、以及采用它所得到的太阳能电池

权利要求书

1.一种氧化物烧结体，其含有氧化锌、铝、镓，是实质上由纤锌矿型氧化锌相和尖晶石型氧化物相的结晶相构成的氧化物烧结体，其特征在于：

(1)氧化物烧结体中的铝和镓的含量以(Al+Ga)/(Zn+Al+Ga)原子数比计为0.3～6.5原子％，并且，铝的含量以Al/(Al+Ga)原子数比计为30～70原子％；

(2)尖晶石型氧化物相中的铝的含量以Al/(Al+Ga)原子数比计为10～90原子％。

2.根据权利要求1所述的氧化物烧结体，其特征在于：铝和镓全部包含于纤锌矿型氧化锌相和/或尖晶石型氧化物相中，该氧化物烧结体不包含氧化铝相和氧化镓相。

3.根据权利要求1或2所述的氧化物烧结体，其特征在于：不包含铝酸锌或镓酸锌的尖晶石型氧化物相。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的氧化物烧结体的制造方法，在其制造方法中，作为原料粉末，在氧化锌粉末中添加混合氧化镓粉末和氧化铝粉末之后，接着向该原料粉末中混入水系介质，将所得的浆液进行粉碎混合处理，接着成形粉碎混合物，然后焙烧成形体，其特征在于：

为使成形体的Al/(Al+Ga)原子数比的标准偏差为25原子％以下而将浆液中的原料粉末均匀粉碎混合。

5.根据权利要求4所述的氧化物烧结体的制造方法，其特征在于：在氧化锌粉末中添加氧化镓粉末和氧化铝粉末，使其含有以(Al+Ga)/(Zn+Al+Ga)原子数比计为0.3～6.5原子％。

6.根据权利要求4或5所述的氧化物烧结体的制造方法，其特征在于：将氧化镓粉末和氧化铝粉末以Al/(Al+Ga)原子数比计为30～70原子％的比率添加到氧化锌粉末中。

7.根据权利要求4所述的氧化物烧结体的制造方法，其特征在于：对原料粉末采用玻珠研磨机进行粉碎混合处理。

8.根据权利要求4或7所述的氧化物烧结体的制造方法，其特征在于：原料粉末采用球磨机预先进行粉碎混合处理。

9.根据权利要求4所述的氧化物烧结体的制造方法，其特征在于：成形体在1250～1350℃的温度下经过15～25小时常压焙烧。

10.一种靶，由权利要求1～3中任一项所述的包含铝和镓的氧化锌类的氧化物烧结体加工制得。

11.一种透明导电膜，采用权利要求10所述的靶，通过溅射法或离子电镀法在基板上形成。

12.根据权利要求11所述的透明导电膜，其特征在于：铝和镓的含量以(Al+Ga)/(Zn+Al+Ga)原子数比计为0.3～6.5原子％。

13.根据权利要求11或12所述的透明导电膜，其特征在于：铝的含量以Al/(Al+Ga)原子数比计为30～70原子％。

14.根据权利要求11～13中任一项所述的透明导电膜，其特征在于：实质上由纤锌矿型氧化锌相形成的结晶相构成。

15.根据权利要求11～14中任一项所述的透明导电膜，其特征在于：铝和镓全部包含于纤锌矿型氧化锌相中，该透明导电膜不包含氧化铝相和氧化镓相。

16.根据权利要求11～15中任一项所述的透明导电膜，其特征在于：比电阻为9.0×10^-4Ωcm以下。

17.根据权利要求11～16中任一项所述的透明导电膜，其特征在于：在波长为780～1200nm下，膜本身的透射率为76％以上。

18.根据权利要求11～17中任一项所述的透明导电膜，其特征在于：基板为玻璃或塑料制的透明基板。

19.一种太阳能电池，采用权利要求11～17中任一项所述的透明导电膜作为电极。

20.根据权利要求19所述的太阳能电池，其特征在于：该太阳能电池为薄膜类太阳能电池，其采用硅类半导体或化合物半导体作为光电转换元件。

21.根据权利要求19所述的太阳能电池，其特征在于：在设置电极层的非金属基板或具有电极性的金属基板上，包括由p型半导体的光吸收层、n型半导体的中间层、半导体的窗层、透明导电膜形成的电极层依次层积的结构。