[发明专利]一种透明导电薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种透明导电薄膜，其特征在于它是镓掺杂或铝掺杂的锌镁氧薄膜，各组成的摩尔百分比含量为：

铝或镓    1.0～5.0％

镁        1～20.0％

余量为锌，上述组分含量之和为100％，(Zn+Mg+Al)或(Zn+Mg+Ga)与O的摩尔数之比为1∶1。

2.据权利要求1所述的透明导电薄膜的制备方法，其特征是步骤如下：

将衬底清洗后直接放入直流反应磁控溅射装置的反应室中，反应室真空度抽至3×10^-3Pa，以锌镁铝或锌镁镓合金为靶材，铝或镓摩尔百分含量为1.0～5.0％，镁摩尔百分含量为1～20.0％，以纯Ar和纯O₂作为溅射气体输入反应室，Ar∶O₂＝2∶1～8∶1，在0.5～2.0Pa压强下，于200～350℃下进行溅射生长。

3.根据权利要求2所述的透明导电薄膜的制备方法，其特征是所说的衬底为玻璃或石英或塑料或有机柔性衬底或硅片或蓝宝石。

4.根据权利要求2所述的透明导电薄膜的制备方法，其特征是Ar的纯度为99.99％以上，氧的纯度为99.99％以上。