[发明专利]弹簧载荷修正方法

说明书

本申请是分案申请，其母案申请的申请号：200410047620.7，申请日：2004.5.27，发明名称：弹簧载荷修正方法及装置

技术领域

本发明涉及一种弹簧载荷修正方法。例如，可以被利用于高精度地制造支撑电脑或各种再生·记录装置的磁记录装置的硬盘驱动器(HDD)等磁头的板簧(悬浮架)。

背景技术

以前，弹簧载荷的测定被广泛地应用。以下，作为弹簧的一个实例，以支撑硬盘驱动器磁头的悬浮架为例进行说明。

随着硬盘驱动器记录密度的飞跃发展，对支撑磁头的悬浮架制造精度要求相当严格。磁头的在信息记录再现时的浮起量，受到静止状态的载荷值的影响。因此，悬浮头载荷对磁头的浮起姿势或浮起特性具有很大影响。为此，在每个悬浮架的制造工序中，必须进行上述悬浮头负荷的测定及修正。

图18是停止磁盘21旋转时的悬浮架200状态。悬浮架200，通过板簧部202将承载梁203设在被支撑体24所支撑的支承板201上。在承载梁203上，安装着挠曲部件(flexure)209，并在其前端部设有包含磁头的滑触头210。在挠曲部件209的前端部，靠接着被设于承载梁203上的拱形凸部208a。

在挠曲部件209的上面，粘贴着构成磁头的滑触头210。滑触头210，滑动于磁盘21表面。在滑触头210的内部，包含读写磁头(未图示)。磁头当中，相对于磁盘21的滑动面是滑触头210。在挠曲部件209上，靠接着被设于承载梁203前端的拱形凸部208a。拱形凸部208a是滑触头210的转动支点。

挠曲部件209，被板簧部202弹性地支撑。因此，当磁盘21的旋转停止时，挠曲部件209受到承载梁203的板簧202的弯曲力，将滑触头210压在磁盘21上。这样，把在滑触头210与停止转动时的磁盘21接触时的接触载荷称为上述磁头载荷。

滑触头210，当磁盘21高速旋转时，受到产生于磁盘21表面上的空气流的影响。即，滑触头210受到来自空气流的浮力而浮起，这样滑触头210进行对磁盘21的信息记录再现。该浮起量，收到浮力与悬浮架的弯曲力平衡的影响。该浮起量一般为数nm～数十nm。

磁头载荷，自以往以来以下述的方法测定。

在以下的实例中，磁头载荷的测定对象，是装载了滑触头210的上述悬浮架200。在以装载了滑触头210的悬浮架200为测定对象时，只考虑滑触头210的厚度(图19的Z210)即可，并能以同样的方法测定。

在图19中，符号200a表示自由时(无负荷状态)的悬浮架200。符号200b，表示滑触头210与停止旋转时的磁盘21接触时的悬浮架200(与图18状态相同)。即，悬浮架200b通过滑触头210给予磁盘21的载荷为磁头载荷。

符号Zf表示从被固定的支撑体24的基准面25a到自由时的悬浮架200a的挠曲部件209a的高度。符号Z21表示从基准面25a到磁盘21的下面(与磁盘21的接触面)的高度。符号Zh表示将滑触头210压在停止旋转时的磁盘21上的悬浮架200b的挠曲部件209b的距基准面25a的高度。即，磁盘21下面的高度Z21，其为(Zh+Z210)。

根据上述说明，在测定悬浮架200的磁头载荷时，如图19及图20所示，在测力计300的载荷测定头310与挠曲部件209接触的状态下，使测力计300下降，并将挠曲部件209一直压到高度Zh的位置，只要用测力计300测定该状态下来自挠曲部件209的载荷(反作用力)即可。以下，参照图21更具体地说明磁头载荷的测定方法。

(1)首先，预先准备已知磁头载荷的悬浮架200(校正工件)。

(2)然后，用工件夹钳400夹持并从上方施压，将该校正工件200固定在基准面401上。

(3)然后，用气缸等上下移动机构410将测力计420向上方移动，使测力计420的载荷测定头425与校正工件200接触。

(4)随后，一边利用测力计420监控输出的载荷，一边使上升端定程器430上下移动，调整测力计420的高度，并将上升端定程器430的位置固定在由测力计420输出的载荷与校正工件200的已知载荷一致的位置(测力计420的高度调整结束)。

(5)然后，在下降测力计420的同时，使工件夹钳400下降，并拆下校正工件200。

(6)然后，用工件夹钳400将测定对象的悬浮架200固定在基准面401上。

(7)然后，使测力计420上升，且和上述(4)一样地与调整后的上升端定程器430相靠。