[发明专利]液体排出头及其制造方法

权利要求书

1.一种制造液体排出头的方法，所述液体排出头包含生成用于排出液体的能量的能量生成元件、和配备在面对能量生成元件的位置上并具有用于排出液体的排出口的排出部分，该方法包含如下步骤：

在基板上形成要从其形成排出口的负光敏树脂层，所述层对于365nm的光具有每1μm厚度0.02到0.07的吸光度；以及

将所述层曝光于i线，以便形成在从基板到排出口的方向上变尖的排出部分。

2.根据权利要求1所述方法，其中，所述负光敏树脂包含环氧树脂和光致阳离子聚合引发剂。

3.根据权利要求2所述方法，其中，所述负光敏树脂进一步包含吸收365nm的光的添加剂。

4.根据权利要求3所述方法，其中，所述添加剂是作用于所述光致阳离子聚合引发剂的增感剂。

5.根据权利要求1所述方法，其中，曝光所述层的步骤包括：

曝光所述层以形成第一排出部分的第一曝光步骤；和

曝光所述层以形成其中的排出口与第一排出部分的排出口不同的第二排出部分的第二曝光步骤，

其中，所述第二排出部分朝向其排出口比第一排出部分更尖。

6.根据权利要求1所述方法，进一步包含在基板上提供构成与排出部分连通的墨通道的一部分的图案的步骤，

其中，在所述图案上形成所述负光敏树脂层，以及在形成排出部分之后除去所述图案。

7.一种制造液体排出头的方法，所述液体排出头包含生成用于排出液体的能量的能量生成元件、和每一个配备在面对能量生成元件的位置上并具有用于排出液体的排出口的排出部分，所述方法包含如下步骤：

在基板上形成负光敏树脂层；

曝光负光敏树脂层以形成第一排出部分；以及

曝光所述层以形成其中的排出口与第一排出部分的排出口不同的第二排出部分，

其中，第二排出部分朝向其排出口比第一排出部分更尖。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，第一排出部分的排出口具有比第二排出部分的排出口大的面积。

9.根据权利要求7所述的方法，其中，连续执行第一和第二曝光步骤。

10.一种液体排出头，包含：

基板；

配备在基板上、生成用于排出液体的能量的能量生成元件；

配备在面对能量生成元件的位置上并具有用于排出液体的排出口的排出部分；以及

将液体供应给排出部分的通道，

其中，所述排出部分朝向排出口变尖；以及

形成排出部分的构件由负光敏树脂的硬化产物制成，所述负光敏树脂在365nm具有每1μm厚度0.02到0.07的吸光度。

11.一种液体排出头，包含：

基板；

配备在基板上、生成用于排出液体的能量的能量生成元件；

在相同排出口形成件中形成、每一个配备在面对能量生成元件的位置上并具有用于排出液体的排出口的第一和第二排出部分；和

将液体供应给排出部分的通道，

其中，所述第二排出部分具有与第一排出部分的排出口不同的排出口，以及

其中，第二排出部分朝向其排出口比第一排出部分更尖。

12.根据权利要求11所述的液体排出头，其中，第一排出部分的排出口的面积大于第二排出部分的排出口的面积。

13.根据权利要求12所述的液体排出头，其中，来自第一排出部分的单次排出的液体量大于来自第二排出部分的单次排出的液体量。

14.根据权利要求11所述的液体排出头，其中，第二排出部分具有局部点，在该局部点，与基板平行的截面积局部变化，并且然后从该局部点到排出口逐渐减小。

15.根据权利要求11所述的液体排出头，其中，第一和第二排出部分的每一个具有局部点，在该局部点，与基板平行的截面积局部变化，并且然后从该局部点到排出口逐渐减小。

16.一种制造液体排出头的方法，所述液体排出头包含生成用于排出液体的能量的能量生成元件、和配备在面对能量生成元件的位置上并具有用于排出液体的排出口的排出部分，该方法包含如下步骤：

在基板上形成负光敏树脂层，以形成构成排出口的构件；以及

用单一波长的光来曝光所述负光敏树脂层，以便形成在从基板到排出口的方向上变尖的排出部分，

其中，对于用于曝光的光，所述层的每1μm厚度的吸光度是0.02到0.07。