[发明专利]曝光数据产生装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种曝光数据产生装置，具体地涉及产生用于驱动二维显示装置(例如DMD(数字微镜装置))的曝光数据的装置。

背景技术

提出了使用诸如DMD的二维显示装置的多重曝光装置。

如日本特开2003-50469号公报中所示的，在使用诸如DMD的二维显示装置的多重曝光装置中，基于诸如位图数据的绘图数据以及与构成二维显示装置的元素的单元的单元号对应的单元坐标来产生用于驱动二维显示装置的曝光数据。

然而，当产生曝光数据时，从存储每个单元单位的单元坐标的单元坐标表中读取单元坐标。在此情况下，对用于产生曝光数据的单元坐标表的访问次数等于单元数量。因此，阻碍加速产生曝光数据的一个原因是对单元坐标表的访问很多。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种可以高速产生曝光数据的曝光数据产生装置。

根据本发明，曝光数据产生装置包括第一存储器、第二存储器和曝光数据存储器。第一存储器按位图格式存储绘图数据，作为用于曝光的第一数据。第二存储器存储第二数据，根据第一数据将第二数据的列方向的数据单位转换为各个单元的信息的分辨率单位。曝光数据存储器存储曝光数据，曝光数据是由在每个列单位的第三数据的脉冲(burst)传输而获得的光栅数据。将第二数据重新排列并转换为第三数据，其中将第二数据在列方向的各个单元的数据排列改变为行方向。所述单元构成根据所述曝光数据进行曝光的数字微镜装置(DMD)的显示元素。

附图说明

参照附图，根据以下描述可以更好地理解本发明的目的和优点，在附图中：

图1是本实施方式的多重曝光装置的立体图；

图2是多重曝光装置的框图；

图3表示数据单位的转换，其中将位图数据在列方向上的数据单位从长度单位转换为1/n个单元单位；

图4表示重新排列，其中将第二数据的各个单元的数据排列转置为使得位于列方向上的单元数据重新排列在行方向上；

图5表示从第一数据转换到第二数据的转换的细节；

图6表示第二数据；以及

图7表示第三数据。

具体实施方式

以下参照附图中表示的实施方式描述本发明。在该实施方式中，多重曝光装置1包括控制器10和头单元30(参见图1和图2)。

控制器10进行根据绘图数据(例如，向量数据或CAD数据)产生曝光数据(光栅数据)的绘图处理操作。

头单元30具有装置控制器31和根据曝光数据进行曝光的DMD 33。装置控制器31根据曝光数据驱动DMD 33。

控制器10具有五个存储器(第一存储器11、第二存储器13、单元坐标表15、第三存储器16和曝光数据存储器17)。

如下所述，控制器10按照包括第一步骤、第二步骤、第三步骤、第四步骤和第五步骤的顺序，将绘图数据转换为用于驱动DMD 33的曝光数据并将曝光数据存储在曝光数据存储器17中。

将作为CAD数据的绘图数据转换为位图数据并存储在第一存储器11中，作为第一数据。换句话说，第一存储器11按位图格式存储绘图数据作为第一数据。

将位图数据(第一数据)在列方向上的数据单位转换为1/n单元单位，并存储在第二存储器13中，作为第二数据。换句话说，第二存储器13存储第二数据，根据在列方向和行方向上的数据单位是长度单位的第一数据，将第二数据在列方向上的数据单位转换为1/n单元单位(即，各个单元的信息的分辨率单位)。

在公开的实施方式中单元坐标表15例如是SRAM(静态随机存取存储器)，用于存储与单元的单元号对应的单元坐标的转换表。单元坐标是与成为脉冲传输对象的列(即，进行脉冲传输的列)的先头单元对应的先头位的行地址。

将在列方向上的数据单位被转换为1/n单元单位的第二数据重新排列并存储在第三存储器16中，作为第三数据(转换数据)，在公开的实施方式中第三存储器16例如是DRAM(动态随机存取存储器)。因此，在一个单元单位，第二数据在列方向上的各个单元的数据排列改变(转置)为行方向。

曝光数据存储器17存储曝光数据，该曝光数据是位图格式并由在每个列单位的第三数据的脉冲传输而获得。

在第一步骤中，将与DMD 33显示的绘图区域对应的绘图数据转换为位图数据(第一数据)并存储在第一存储器11中。第一数据的数据单位是长度单位，例如，1μm的单位。