[发明专利]清洗方法

权利要求书

1.一种利用加压流体的清洗方法，在通过使加压流体与被清洗物接触以去除附着在上述被清洗物表面的杂质的清洗方法中，对于浸渍到加压第1流体中的上述被清洗物，接触密度不同于上述第1流体的加压第2流体即超临界流体来进行清洗时，不改变上述第1流体的相态，而把作为上述第2流体的超临界流体通过配置于上述被清洗物附近的喷出部与上述被清洗物接触，从而去除附着在上述被清洗物表面的杂质。

2.如权利要求1记载的利用加压流体的清洗方法，上述被清洗物的密度在上述第1流体的密度以下，把密度小于上述被清洗物密度的上述第2流体与上述被清洗物接触。

3.如权利要求1记载的利用加压流体的清洗方法，上述第1流体与上述第2流体相同，上述第1流体为液体，上述第2流体为超临界流体。

4.如权利要求1记载的利用加压流体的清洗方法，上述流体含有选自二氧化碳、水、氨、低氧化碳、醇中的至少一种。

5.如权利要求1记载的利用加压流体的清洗方法，附着在上述被清洗物表面的杂质为润滑油。

6.如权利要求1记载的利用加压流体的清洗方法，上述被清洗物为具有凹部构造的部件。