[发明专利]光刻设备和器件制造方法

权利要求书

1.一种光刻设备，包括：

支架，构造成用于支撑图案形成装置，所述图案形成装置能够赋予辐射束横截面图案，以形成带图案的辐射束；

衬底台，配置成用于保持衬底；

液体供给系统，配置成用于将液体提供到衬底的顶部表面的局部区域；

投影系统，配置成用于将带图案的辐射束通过液体投影到衬底的目标部分上；以及

控制器，适于在穿过衬底的管芯线的成像过程中协调衬底台和支架的运动，以使得通过在投影系统下仅沿着基本与第一方向平行的方向向后和/或向前的管芯线的运动实现所述衬底台和支架的运动，其中所述第一方向处于基本上平行于顶部表面的平面中。

2.根据权利要求1所述的投影光刻设备，其中，所述控制器还适于在管芯线已经曝光后，当衬底不在投影系统之下时，沿着基本上垂直于第一方向的并在所述平面内的第二方向移动衬底，然后，在穿过衬底的第二条管芯线的曝光过程中，协调衬底台和衬底的运动，以使得通过在投影系统下面仅沿着基本与第一方向平行的方向向后和/或向前的衬底的运动实现所述衬底台和衬底的运动。

3.根据权利要求2所述的投影光刻设备，其中，所述控制器适于使得当液体供给系统将液体提供到局部区域上时，使衬底进行第二方向的移动。

4.根据权利要求1所述的投影光刻设备，其中，所述控制器适于使得通过重复对穿过衬底的、一定顺序的多条管芯线的成像而对衬底成像，以使得在最后的管芯线成像以后，定位衬底台，使得衬底台上的封闭板与液体供给系统位于衬底的相同侧，所述封闭板配置成用于关闭液体供给系统的孔。

5.根据权利要求1所述的投影光刻设备，其中，所述控制器适于使得在管芯线的成像过程中，衬底台仅仅沿一个方向移动。

6.根据权利要求1所述的投影光刻设备，其中，所述控制器适于使得衬底的整个顶表面通过衬底台仅仅在投影系统下面沿着基本与第一方向平行的方向向后和/或向前运动进行成像。

7.根据权利要求1所述的投影光刻设备，其中，所述控制器适于使得在管芯线的成像过程中，在投影系统下面移动衬底台，使得每个管芯在投影系统下面通过至少两次。

8.根据权利要求7所述的投影光刻设备，其中，所述控制器适于使得不一个接一个地扫描管芯线上的连续的管芯。

9.根据权利要求1所述的投影光刻设备，其中，所述控制器适于使得：

i)所有管芯作为管芯线的部分成像，并且

ii)在相应的管芯线的每一末端处成像的管芯中的每一个都通过沿具有从衬底的中心向外的分量的方向在投影系统下通过而成像。

10.根据权利要求9所述的投影光刻设备，其中，所述控制器适于使得：

将在管芯线中成像的、所述管芯线的最后的管芯位于衬底的开始成像的一半，以便在所述管芯线的成像过程中在投影系统下通过。

11.一种光刻设备，包括：

支架，构造成用于支撑图案形成装置，所述图案形成装置能够赋予辐射束横截面图案，以形成带图案的辐射束；

衬底台，构造成用于保持衬底；

液体供给系统，配置成用于将液体提供到衬底的顶部表面的局部区域；

投影系统，配置成用于将带图案的辐射束通过液体投影到衬底的目标部分上；以及

控制器，适于控制支架和衬底台的运动，以使得在衬底上的管芯线的成像过程中，衬底台沿着与顶部表面基本上平行的平面中的第一方向移动，并且支架移动以致在每个管芯的曝光过程中沿着第一方向扫描衬底。

12.一种光刻设备，包括：

支架，构造成用于支撑图案形成装置，所述图案形成装置能够赋予辐射束横截面图案，以形成带图案的辐射束；

衬底台，构造成用于保持衬底；

液体供给系统，配置成用于将液体提供到衬底的顶部表面的局部区域；

投影系统，配置成用于将带图案的辐射束通过液体投影到衬底的目标部分上；以及

控制器，适于控制支架和衬底台的运动，以使得在衬底的中心部分的成像过程中，扫描运动基本上垂直于步进运动，而在衬底的外部区域的成像过程中，步进运动和扫描运动是相结合的，或是基本上反平行的。