[发明专利]被覆切削工具和用于制造该被覆切削工具的方法

权利要求书

1.一种被覆切削工具，其包含表面涂敷有包含至少一层的涂膜的基材，所述涂膜包含至少一层由TiCN柱状晶体膜组成的层，

其中在与所述基材的表面平行的方向上测量时，所述TiCN柱状晶体膜具有0.05至0.5μm的平均晶粒尺寸，并且在使用CuKα辐射测量时，所述TiCN柱状晶体膜显示出具有衍射角2θ在121.5至122.6°的范围内的峰的X-射线衍射图，其中所述峰归属于所述TiCN柱状晶体的(422)晶体小面。

2.根据权利要求1所述的被覆切削工具，其中归属于所述TiCN柱状晶体膜的(422)晶体小面的所述峰的半宽度值为0.40至0.60°。

3.根据权利要求1或2所述的被覆切削工具，其中所述TiCN柱状晶体膜显示出在归属于(422)晶体小面的所述峰处具有最高强度的X-射线衍射图。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的被覆切削工具，其中在所述TiCN柱状晶体膜中含有的碳相对于碳和氮之和的原子比{C/(C+N)}为0.70至0.90。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的被覆切削工具，其中所述TiCN柱状晶体膜是使用包含具有2至20个碳原子的链烃、有机氰化合物、四氯化钛和氢气的原料气体，通过温度在700至900℃的范围内的CVD法沉积的涂膜。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的被覆切削工具，其中所述涂膜具有7至25μm的平均厚度。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的被覆切削工具，其中所述涂膜包含内膜和外膜，其中所述内膜包含至少一层由平均厚度为5至20μm的TiCN柱状晶体膜组成的层，并且所述外膜包含至少一层由平均厚度为1.5至10μm的氧化铝膜组成的层。

8.根据权利要求7所述的被覆切削工具，其中所述氧化铝膜是α-氧化铝膜。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的被覆切削工具，其中所述基材是硬质合金基材。

10.一种用于制造被覆切削工具的方法，所述方法包括使用包含具有2至20个碳原子的链烃、有机氰化合物、四氯化钛和氢气的原料气体，通过温度在700至900℃的范围内的CVD法沉积TiCN柱状晶体膜。