[发明专利]电子检测装置和包含该种装置的检测器

权利要求书

1.一种包括衬底(1；301；401)和至少一个微结构的电子检测装置，所述微结构包括膜片(9；309；409)和至少一个纵向保持部件(21，22)，所述膜片大致面对所述衬底(1；301；401)并离开所述衬底一距离而延伸，并且机械地连接和电连接到所述纵向保持部件上，所述纵向保持部件借助至少一个柱(5；305；405)机械地连接和电连接到衬底(1；301；401)上，其特征在于，该微结构还包括至少一个具有中空截面并在所述微结构的至少一个主表面上延伸的支肋部件(10-13；310；313；410；413；413’；420)。

2.根据权利要求1的电子检测装置，其特征在于，该支肋部件在相对于微结构的主表面的横截方向上延伸。

3.根据权利要求1或2所述的电子检测装置，其特征在于，该纵向保持部件(21，22)包括在其整个长度上延伸的纵向支肋部件(10，11；310；410)。

4.根据上述权利要求中任一项所述的电子检测装置，其特征在于，该膜片(9；309)包括至少一个在所述膜片(9；309)的一个主维方向上和整个长度上延伸的支肋部件(12)。

5.根据上述权利要求1-4中任一项所述的电子检测装置，其特征在于，该支肋部件(10-13；310；313)具有其底边连接到所述微结构上的梯形截面。

6.根据上述权利要求中任一项所述的电子检测装置，其特征在于，该支肋部件(410；420)成管道形状，该管道是由在微结构的两个主表面上延伸的支肋部件构造成的。

7.根据权利要求6的电子检测装置，其特征在于，该膜片(409)的平面基本上沿着所述管道(420)的赤道平面延伸。

8.根据上述权利要求中任一项所述的电子检测装置，其特征在于，其包括多个在所述膜片(9；309；409)的一个和/或其它主维方向上延伸的支肋部件(10-13；310；313；410；413；413’；420)。

9.根据上述权利要求1-8中任一项所述的电子检测装置，其特征在于，其包括多个彼此平行的纵向支肋部件(10-13；310；313；410；413；413’；420)。

10.一种用于诸如红外辐射的电磁辐射阵列检测器，包括多个用于所述辐射的基本传感器，其特征在于，所述基本传感器各自由前述权利要求中任一项所述的电子检测装置构造成，所述膜片各自包括对该辐射敏感的材料。