[发明专利]滤色器基板的制造方法

权利要求书

1.一种滤色器基板的制造方法，该制造方法包括以下步骤：

在基板上形成黑底，该黑底包括第一开口、第二开口、第三开口和第四开口；

分别在所述第一开口、所述第二开口和所述第三开口中形成第一滤色器图案、第二滤色器图案和第三滤色器图案；

在包括所述第一滤色器图案、所述第二滤色器图案和所述第三滤色器图案的所述基板上形成外覆层；

将一软模置于所述外覆层上，该软模包括第一凹陷部和第二凹陷部，所述第一凹陷部对应于所述黑底，所述第二凹陷部对应于所述第四开口，其中，所述第一凹陷部的第一深度大于所述第二凹陷部的第二深度；

对所述软模施加压力，使得所述第一凹陷部和所述第二凹陷部中充满所述外覆层，所述外覆层包括在所述黑底上的第一部分、在所述第四开口中的第二部分以及在所述第一滤色器图案、所述第二滤色器图案和所述第三滤色器图案上的第三部分，其中，所述第一部分包括与所述第一凹陷部相对应且具有第一高度的构图间隔体，所述第二部分包括与所述第二凹陷部相对应且具有第二高度的凸部；

使用所述软模对所述外覆层进行一次固化；

将所述软模与所述外覆层分离；以及

对所述外覆层进行二次固化。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其中，对所述外覆层进行一次固化的步骤包括将紫外光照射到所述外覆层。

3.根据权利要求2所述的制造方法，其中，对所述外覆层进行二次固化的步骤包括对所述外覆层进行加热。

4.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述外覆层的所述第二部分具有第一厚度，所述外覆层的所述第三部分具有小于所述第一厚度的第二厚度。

5.根据权利要求4所述的制造方法，其中，所述凸部的所述第二高度为所述第一厚度与所述第二厚度之差乘以在对所述外覆层进行二次固化后所述外覆层的收缩率。

6.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述第二部分的顶面高于所述第三部分的顶面。

7.根据权利要求6所述的制造方法，其中，对所述外覆层的二次固化使得所述第二部分的顶面与所述第三部分的顶面处于同一水准。

8.根据权利要求1所述的制造方法，其中，在对所述外覆层进行二次固化之后，所述构图间隔体具有低于所述第一高度的第三高度。

9.根据权利要求8所述的制造方法，其中，所述构图间隔体的所述第三高度在2μm到4μm的范围内。

10.根据权利要求9所述的制造方法，其中，所述第一凹陷部的所述第一深度为所述第三高度与一减小值之和，所述减小值是通过所述第三高度乘以在对所述外覆层进行二次固化后所述外覆层的收缩率而得到的。

11.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述软模是通过以下步骤而制造的：

在具有平坦表面的底基板上形成无机材料层；

在所述无机材料层上形成第一光刻胶图案和第二光刻胶图案，其中，所述第一光刻胶图案厚于所述第二光刻胶图案；

通过利用所述第一光刻胶图案和所述第二光刻胶图案作为刻蚀掩模对所述无机材料层进行刻蚀，从而形成第一无机材料图案和第二无机材料图案，所述第一无机材料图案对应于所述第一光刻胶图案，所述第二无机材料图案对应于所述第二光刻胶图案；

去除所述第二光刻胶图案，从而露出所述第二无机材料图案；

对所述第二无机材料图案进行部分刻蚀；

去除所述第一光刻胶图案，从而形成分别与所述第一无机材料图案和所述第二无机材料图案相对应的第一浮凸部和第二浮凸部；

在包括所述第一浮凸部和所述第二浮凸部的所述底基板上形成有机材料层；

对所述有机材料层进行固化；以及

将经固化的有机材料层与所述底基板分离，从而完成所述软模，其中，所述第一凹陷部对应于所述第一浮凸部，所述第二凹陷部对应于所述第二浮凸部。

12.根据权利要求1所述的制造方法，其中，所述软模是通过以下步骤而制造的：

在具有平坦表面的底基板上形成光刻胶层；

通过掩模使所述光刻胶层曝光；

通过对所述光刻胶层进行显影来形成第一浮凸部和第二浮凸部，其中，所述第一浮凸部厚于所述第二浮凸部；

在包括所述第一浮凸部和所述第二浮凸部的所述底基板上形成有机材料层；

对所述有机材料层进行固化；以及

将经固化的有机材料层与所述底基板分离，从而完成所述软模，其中，所述第一凹陷部对应于所述第一浮凸部，所述第二凹陷部对应于所述第二浮凸部。