[发明专利]基板收纳设备及基板处理设备及基板收纳设备的动作方法

权利要求书

1.一种基板收纳设备，包括：

收纳容器，将基板以在上下方向上隔开间隔地配置的状态保持多张；

收纳架，具有收纳前述收纳容器的多个收纳部；

前述收纳容器的入库出库部；

收纳容器搬运装置，在前述收纳架的前方的移动空间内沿架横宽方向行进，并且，在前述入库出库部和前述收纳部之间搬运前述收纳容器；

控制机构，控制前述收纳容器搬运装置的动作；

其特征在于，

前述收纳容器形成为整体具有四边形的截面的筒状，即具有其一端侧的第1开口、和在水平方向上与前述第1开口隔开间隔的另一端侧设置的第2开口，前述第1开口构成为用于输入输出前述基板的输入输出口，具备装备在前述收纳容器的前述第2开口的区域的风扇过滤单元，用于从前述第2开口朝向前述第1开口通风，

前述控制机构控制前述收纳容器搬运装置的动作，在使前述收纳容器的装备有前述风扇过滤单元的一侧位于前述移动空间一侧、且使前述收纳容器的前述输入输出口的一侧位于从前述移动空间远离的一侧的状态下，将前述收纳容器收纳到前述收纳部中。

2.如权利要求1所述的基板收纳设备，其特征在于，

在前述收纳容器的输入输出口部，以关闭状态下一部分开口的状态装备有对前述收纳容器的前述输入输出口进行开闭的盖。

3.如权利要求1或2所述的基板收纳设备，其特征在于，

前述收纳架以相互对置的状态设置有一对，

前述收纳容器搬运装置具有使支承的收纳容器旋转的旋转机构，

前述控制机构控制前述收纳容器搬运装置的动作，在使一对前述收纳架的任一个中，前述收纳容器的装备有前述风扇过滤单元的一侧位于前述移动空间一侧、且使前述收纳容器的前述输入输出口的一侧位于从前述移动空间远离的一侧的状态下，将前述收纳容器收纳到前述收纳部中。

4.一种基板处理设备，装备有权利要求1或2所述的基板收纳设备，其特征在于，

在将净化空气从顶面部通入底面部的清洁空间内，以周围敞开的状态装备有前述收纳设备。

5.如权利要求1或2所述的基板收纳设备，其特征在于，

前述风扇过滤单元具有被框体支承的风扇、过滤器、和受电部。

6.如权利要求5所述的基板收纳设备，其特征在于，

前述风扇过滤单元具有电池。

7.如权利要求1或2所述的基板收纳设备，其特征在于，

前述入库出库部是前述收纳架的一部分。

8.一种基板收纳设备的动作方法，前述基板收纳设备包括：

收纳容器，将基板以在上下方向上隔开间隔地配置的状态保持多张；

收纳架，具有收纳前述收纳容器的多个收纳部；

前述收纳容器的入库出库部；

收纳容器搬运装置，在前述收纳架的前方的移动空间内沿架横宽方向行进，并且，在前述入库出库部和前述收纳部之间搬运前述收纳容器；

控制机构，控制前述收纳容器搬运装置的动作；

前述收纳容器形成为整体具有四边形的截面的筒状，即具有其一端侧的第1开口、和在水平方向上与前述第1开口隔开间隔的另一端侧设置的第2开口，前述第1开口构成为用于输入输出前述基板的输入输出口，具备装备在前述收纳容器的前述第2开口的区域的风扇过滤单元，用于从前述第2开口朝向前述第1开口通风，前述动作方法包括以下的步骤：

在使前述收纳容器的装备有前述风扇过滤单元的一侧位于前述移动空间一侧、且使前述收纳容器的前述输入输出口的一侧位于从前述移动空间远离的一侧的状态下，将前述收纳容器收纳到前述收纳部中。