[发明专利]X射线分析设备

权利要求书

1.一种X射线分析设备，包括：

产生X射线的X射线管状灯泡，

聚焦所述X射线并将所述X射线照射到样本的X射线透镜，

设置在所述X射线透镜与所述样本之间的准直仪，以及

检测在用所述X射线照射时从所述样本发出的辐射线或者光的检测器，

其中设置在所述准直仪中的开口部分的形状为开口在朝向所述样本的一侧小于在朝向所述X射线透镜的一侧。

2.如权利要求1所述的X射线分析设备，其中所述准直仪的开口部分的形状与来自所述X射线透镜的X射线的聚焦光程的形状近似相同。

3.如权利要求1所述的X射线分析设备，其中所述准直仪的开口部分的形状小于来自所述X射线透镜的X射线的聚焦光程的形状。

4.如权利要求1所述的X射线分析设备，其中锥形形状的准直仪被安装在与距离所述X射线透镜相比更接近于所述样本的位置。

5.如权利要求1所述的X射线分析设备，其中所述检测器具有检测所述X射线的功能。

6.如权利要求1所述的X射线分析设备，其中所述X射线透镜是微会聚毛细管。