[发明专利]光学系统及其制造方法

权利要求书

1.一种光学系统，包括:

输入部，用以接收光学信号；

预先设定的输出面；以及

绕射光栅，包括绕射表面，用以将所述输入部接收的所述光学信号分离成多个光谱分量，并且各个光谱分量都会聚焦在所述预先设定的输出面，其中，所述绕射表面由光微影工艺形成。

2.根据权利要求1所述的光学系统，其中，还包括至少一个检测器设于所述预先设定的输出面上，用以检测所述预先设定的输出面上的所述光谱分量。

3.根据权利要求2所述的光学系统，其中，所述检测器为电荷耦合器件检测器或互补金属氧化物半导体检测器。

4.根据权利要求2所述的光学系统，其中，组成所述绕射光栅的材质选自由第3-5族半导体、第4族元素、玻璃、塑料以及金属组成的组。

5.根据权利要求1所述的光学系统，其中，所述绕射表面为反射式绕射表面。

6.根据权利要求5所述的光学系统，其中，所述反射式绕射表面是在所述绕射光栅上镀上至少一层金属薄膜而形成的。

7.根据权利要求5所述的光学系统，其中，所述反射式绕射表面是在所述绕射光栅上镀上至少一层金属薄膜而形成的，所述金属薄膜选自由银、金、铝、铂、钛以及镍组成的组。

8.根据权利要求1所述的光学系统，其中，所述输入部为狭缝。

9.根据权利要求8所述的光学系统，其中，所述狭缝由光微影工艺形成或模制成形制成。

10.一种光学系统，包括:

基板；

盖体，设置在所述基板上，与所述基板形成一内部空间；

输入部，用以接收光学信号；

预先设定的输出面；以及

绕射光栅，包括绕射表面，用以将所述输入部接收的所述光学信号分离成多个光谱分量，并且各个光谱分量都会聚焦在所述预先设定的输出面，其中所述绕射表面由光微影工艺形成。

11.根据权利要求10所述的光学系统，其中，还包括至少一个间隔件，其夹置在所述基板与所述盖体之间。

12.根据权利要求10所述的光学系统，其中，还包括至少一个遮光组件，设置于所述基板与所述盖体之间。

13.根据权利要求10所述的光学系统，其中，组成所述基板或所述盖体的材质选自由第3-5族半导体、第4族元素、玻璃、塑料以及金属组成的组。

14.根据权利要求10所述的光学系统，其中，所述基板面对所述内部空间面覆盖第一反射层。

15.根据权利要求14所述的光学系统，其中，所述第一反射层由至少一层金属薄膜构成，构成所述第一反射层的材质选自由银、金、铝、铂、钛以及镍组成的组。

16.根据权利要求10所述的光学系统，其中，所述盖体面对所述内部空间面覆盖第二反射层。

17.根据权利要求16所述的光学系统，其中，所述第二反射层由至少一层金属薄膜构成，构成所述第二反射层的材质选自由银、金、铝、铂、钛以及镍组成的组。

18.根据权利要求10所述的光学系统，其中，还包括第三反射层在所述绕射表面。

19.根据权利要求18所述的光学系统，其中，所述第三反射层是在所述绕射光栅上镀上至少一层金属薄膜而形成的，构成所述第三反射层的材质选自由银、金、铝、铂、钛以及镍组成的组。

20.根据权利要求10所述的光学系统，其中，所述光学系统的外部还包括壳体，所述壳体包覆所述光学系统。。

21.根据权利要求20所述的光学系统，其中，所述壳体具有非反射性或可吸光的内部表面。

22.根据权利要求10所述的光学系统，其中，还填充一种液体于所述内部空间，所述液体的反射率大于所述基板、所述盖体与所述绕射光栅的反射率。