[发明专利]研磨垫及其制造方法有效
| 申请号： | 200710148750.3 | 申请日： | 2002-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN101130233A | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | 下村哲生;中森雅彦;山田孝敏;增井敬志;驹井茂;小野浩一;小川一幸;数野淳;木村毅;濑柳博 | 申请（专利权）人： | 东洋橡胶工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24D3/20;B24D13/00;B24D18/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王海川;樊卫民 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有以聚合物材料为基质材料的研磨层的研磨垫，其中聚合物材料在20℃、pH 11的氢氧化钠水溶液中浸渍24小时时的膨胀度为2～15％。
2.根据权利要求1的研磨垫，其中所述聚合物材料为聚氨酯，并且含有水溶性聚合多元醇作为聚氨酯的构成成分多元醇化合物。
3.根据权利要求2的研磨垫，其中所述聚氨酯为具有微细气泡的发泡聚氨酯。
4.根据权利要求3的研磨垫，其中发泡聚氨酯的密度为0.67～0.90g/cm3。
5.根据权利要求3或4的研磨垫，其中发泡聚氨酯含有0.1～5重量％的硅酮系表面活性剂。
6.根据权利要求1～5任一项的研磨垫，其中研磨层的40℃的贮存弹性模量不低于270MPa。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东洋橡胶工业株式会社，未经东洋橡胶工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200710148750.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：含有高蒸汽压金属的合金的熔化方法
- 下一篇：用于配备钓鱼线的组合件和方法
