[发明专利]无尘室进气净化设备无效

申请号：	200710147946.0	申请日：	2007-08-27
公开（公告）号：	CN101376033A	公开（公告）日：	2009-03-04
发明（设计）人：	郑石治;林哲弘;陈寿忠;徐瑞珠;刘邦昱;洪守铭	申请（专利权）人：	华懋科技股份有限公司
主分类号：	A61L9/16	分类号：	A61L9/16;B01D46/00
代理公司：	中科专利商标代理有限责任公司	代理人：	周长兴
地址：	台湾省桃园县***	国省代码：	中国台湾;71
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摘要：
搜索关键词：	无尘室进气净化设备
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【权利要求书】：

1、一种无尘室进气净化设备，主要于外气入口连设一微污染(Airborne Molecular Contamination，AMC)净化设备，该微污染净化设备中设有至少一吸附机构，该吸附机构上涂布有一吸附层，以吸附外气内所含的微污染物，该微污染净化设备后方连设一外气空调箱(Make Up Air Unit，MAU)，该外气空调箱的出口直接导入无尘室；以此，以令外部补气可提供对补气质量要求较高的无尘室使用。

2、如权利要求1所述的无尘室进气净化设备，其中，该微污染净化设备的吸附机构为一转轮，该转轮具有一吸附区域、一再生脱附区域及一隔离冷却区域，其外气经转轮的吸附区域吸附后，再通过再生脱附区域使外气能脱附浓缩成污染废气，而转轮将污染废气脱附后，转入隔离冷却区域降温，使转轮恢复具有吸附功能，而污染废气再经反应去除污染物质形成无污染物质的气体。

3、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该吸附机构的转轮外型结构为旋转塔(Rotary Cylinder or Rotary Tower)。

4、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该吸附机构的转轮外型结构为旋转转盘(Rotary Disk)。

5、如权利要求1所述的无尘室进气净化设备，其中，该微污染净化设备的吸附机构为吸附材，该吸附材为抽换式，当吸附饱合后即抽取更换吸附材，而饱合吸附材可送出厂外再生重复使用。

6、如权利要求1、2、3、4或5所述的无尘室进气净化设备，其中，该微污染净化设备的吸附机构为蜂窝状结构，由无机材料制成。

7、如权利要求1、2、3、4或5所述的无尘室进气净化设备，其中，该微污染净化设备的吸附机构为多孔洞性结构，由无机材料制成。

8、如权利要求1所述的无尘室进气净化设备，其中，该吸附层为吸附剂，以吸附微污染物。

9、如权利要求1所述的无尘室进气净化设备，其中，该吸附层为催化剂，以吸附微污染物。

10、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该再生脱附区域的脱附方式是采用电热方式将污染废气脱附。

11、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该再生脱附区域的脱附方式是采用燃烧热方式将污染废气脱附。

12、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该再生脱附区域的脱附方式是采用等离子体方式将污染废气脱附。

13、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该再生脱附区域的脱附方式是采用废热回收方式将污染废气脱附。

14、如权利要求2所述的无尘室进气净化设备，其中，该再生脱附区域的脱附方式是采用强氧化剂方式将污染废气脱附。