[发明专利]气压传感器

权利要求书

1.一种气压传感器，包括内部形成有密封空间的密封筐体、形成该密封筐体的至少一部分壁面并根据外气压的变化而变形以改变所述密封空间容积的第1薄板件、以及，接触于该第1薄板件上并用于测量该第1薄板件的固有振动频率的第一PZT，其特征在于该气压传感器还包括：

第2薄板件，其具有与所述第1薄板件相同的振动特性并在所述密封筐体的外部与该密封筐体相接触；

第二PZT，其具有与第一PZT相同的振动特性并接触于所述第2薄板件上并用于测量该第2薄板件的固有振动频率。

2.如权利要求1所述的气压传感器，其特征在于：所述第1薄板件与第2薄板件，两者的材质及厚度均相同。

3.如权利要求2所述的气压传感器，其特征在于：所述第2薄板件是由第1薄板件延伸所形成。

4.如权利要求1所述的气压传感器，其特征在于：该气压传感器具有所述第一PZT与所述第二PZT一体形成的一体型PZT。

5.如权利要求4所述的气压传感器，其特征在于：所述一体型PZT用于测量由所述第一PZT与所述第二PZT测出的所述各固有振动频率的合成振动频率。

6.如权利要求1所述的气压传感器，其特征在于：该气压传感器还具有激励所述密封筐体的加振用PZT。

7.如权利要求4所述的气压传感器，其特征在于：所述一体型PZT具有激励所述密封筐体的激振功能。

8.如权利要求4所述的气压传感器，其特征在于：所述激振用PZT产生台阶状脉冲信号从而对所述密封筐体进行激振。

9.如权利要求7所述的气压传感器，其特征在于：所述一体型PZT产生台阶状脉冲信号从而加振所述密封筐体。

10.一种气压传感器单元，其特征在于包括：权利要求1所述的气压传感器、以及计算由该气压传感器测量的第一PZT及第二PZT的各固有振动频率之差的运算部。

11.如权利要求10所述的气压传感器单元，其特征在于：该气压传感器单元具备由所述第一PZT与所述第二PZT一体形成的一体型PZT，该一体型PZT用于测量由所述第一PZT与所述第二PZT测出的各固有振动频率的合成振动频率；所述运算部根据由该一体型PZT测出的合成振动频率计算所述第一及第二PZT的各固有振动频率，并同时计算其差值。

12.一种硬盘驱动器，其特征在于：该硬盘驱动器上承载有权利要求1所述的气压传感器。

13.一种硬盘驱动器，其特征在于：该硬盘驱动器上承载有权利要求10所述的气压传感器单元。

14.如权利要求12所述的硬盘驱动器，其特征在于包括：依据所述气压传感器的第一PZT及第二PZT的测量值测定外气压的气压计测设备、以及依据测定出的外气压来控制磁头滑块飞行高度的飞行高度控制设备。

15.如权利要求13所述的硬盘驱动器，其特征在于包括：根据所述气压传感器的第一PZT及第二PZT的测量值测定外气压的气压计测设备、以及根据测定出的外气压来控制磁头滑块飞行高度的飞行高度控制设备。

16.一种气压传感器的制造方法，其特征在于包括：

第1工序，形成内部有密封空间的密封筐体，该密封筐体至少在其一部分壁面上具有可根据外气压的变化而变形从而改变所述密封空间容积的薄板件；

第2工序，把用于测量所述薄板件固有振动频率的第一PZT接触地配设在所述薄板件上，同时把具有与所述第一PZT相同温度特性且用于测量薄板件突出部的固定频率的第二PZT接触地配设在该薄板件突出部上，其中，薄板件突出部是延伸所述薄板件而形成使得其突设于所述密封筐体。

17.如权利要求16所述的气压传感器的制造方法，其特征在于：在所述第2工序中，配设由所述第一PZT与所述第二PZT一体形成的一体型PZT。

18.如权利要求16所述的气压传感器的制造方法，其特征在于：在所述第2工序之后，相继进行配设用于激励所述密封筐体的激振用PZT的第3工序。