[发明专利]用以感测化学物质的微型传感器

权利要求书

1、一种用以感测一化学物质的微型传感器，其特征在于，所述微型传感器包含：

一基板；

一微悬臂梁，所述微悬臂梁形成于所述基板上并且具有用以捕捉所述化学物质的一捕捉面；

一电极结构，所述电极结构用以提供一电场，所述电场设置成辅助所述捕捉面捕捉所述化学物质；以及

一测量组件，所述测量组件耦接至所述微悬臂梁，所述测量组件用以测量由被捕捉的所述化学物质引发所述微悬臂梁的一机械性质的一变化量，并且将所述变化量转译成与所述化学物质相关的一信息。

2、如权利要求1所述的微型传感器，其特征在于：所述电场是一直流电场，所述直流电场辅助所述捕捉面捕捉所述化学物质。

3、如权利要求2所述的微型传感器，其特征在于：所述电场进一步是一交流电场，并且所述交流电场辅助所述化学物质由所述捕捉面脱离。

4、如权利要求1所述的微型传感器，其特征在于，进一步包含：

一壳体，所述壳体包含一反应腔，所述微悬臂梁安置在所述反应腔内，包含所述化学物质的一流体流进所述反应腔中。

5、如权利要求4所述的微型传感器，其特征在于：所述壳体是选自由一玻璃、一高分子及一半导体材料所组成的一群组中的其中一个所制成。

6、如权利要求5所述的微型传感器，其特征在于：所述壳体由聚二甲基硅氧烷制成。

7、如权利要求4所述的微型传感器，其特征在于：所述电极结构包含形成于所述微悬臂梁的所述捕捉面上的一第一电极以及形成于所述基板上的一第二电极。

8、如权利要求7所述的微型传感器，其特征在于：所述第一电极由金制成，并且所述第二电极由镍制成。

9、如权利要求7所述的微型传感器，其特征在于：所述电极结构进一步包含形成于所述壳体的一上表面上的一第三电极。

10、如权利要求9所述的微型传感器，其特征在于：所述第三电极是一透明电极。

11、如权利要求1所述的微型传感器，其特征在于：所述微悬臂梁的一部分掺杂以形成一压阻组件，所述压阻组件及所述测量组件的至少一电阻构成一电桥，所述测量组件借助所述电桥测量所述微悬臂梁的所述机械性质的所述变化量。

12、如权利要求1所述的微型传感器，其特征在于：所述基板由硅所制成。

13、如权利要求12所述的微型传感器，其特征在于：所述微悬臂梁由氮化硅或二氧化硅所制成。

14、如权利要求13所述的微型传感器，其特征在于：所述微悬臂梁呈现V字型。

15、如权利要求1所述的微型传感器，其特征在于：所述化学物质是选自由一金属、一高分子、一生物化学分子及一微生物化学结构所组成的一群组中的其中一个。