[发明专利]图像传感器

权利要求书

1.一种图像传感器，其包括：

衬底，在其上具有光电二极管；

介电层，位于所述衬底上；

钝化层，位于所述介电层上，并暴露出对应于第一滤色镜的区域中的介电层；和

滤色层，位于暴露出的介电层和所述钝化层上。

2.如权利要求1所述的图像传感器，其中所述滤色层包括：

第一滤色镜，位于暴露出的介电层上；和

第二滤色镜，位于所述钝化层上。

3.如权利要求1所述的图像传感器，进一步包括：

平坦化层，位于所述滤色层上；和

微透镜，位于所述平坦化层上。

4.如权利要求1所述的图像传感器，其中所述钝化层暴露出蓝滤色镜区域。

5.如权利要求1所述的图像传感器，其中所述钝化层暴露出绿滤色镜区域。

6.如权利要求1所述的图像传感器，其中所述钝化层暴露出红滤色镜区域。

7.如权利要求1所述的图像传感器，其中所述钝化层包括SiN。

8.一种图像传感器，其包括：

隔离层，位于衬底上；

有源区域，位于所述衬底中，以使对应于第一颜色的区域比对应于另一颜色的区域深；

离子注入区域，位于所述有源区域的整个表面上；

光电二极管区域，位于所述离子注入区域下面的衬底中；和

介电层，位于所述衬底上。

9.如权利要求8所述的图像传感器，进一步包括：

滤色层，位于所述介电层上；和

微透镜，位于所述滤色层上或上方。

10.如权利要求9所述的图像传感器，其中所述滤色层不具有阶梯差。

11.如权利要求8所述的图像传感器，其中所述有源区域具有10nm至100nm的深度差。

12.如权利要求8所述的图像传感器，进一步包括钝化层，位于所述介电层上。

13.如权利要求8所述的图像传感器，其中所述第一颜色为绿色。

14.一种图像传感器，其包括：

有源区域，位于衬底中；

离子注入区域，位于所述有源区域的整个表面上；

光电二极管区域，位于所述离子注入区域下面；

介电层，位于所述衬底上，以使对应于所述第一颜色的区域比对应于另一颜色的区域高；和

滤色层，位于所述介电层上。

15.如权利要求14所述的图像传感器，进一步包括微透镜，位于所述滤色层上。

16.如权利要求14所述的图像传感器，其中所述滤色层在各颜色之间具有阶梯差。

17.如权利要求16所述的图像传感器，其中对应于所述第一颜色的第一滤色镜比对应于另一颜色的滤色镜高。

18.如权利要求14所述的图像传感器，其中所述介电层具有10nm至100nm的深度差。

19.如权利要求14所述的图像传感器，进一步包括钝化层，位于所述层间介电层上。

20.如权利要求14所述的图像传感器，其中所述第一颜色为绿色。