[发明专利]硅片装卸装置

说明书

技术领域：

本发明涉及晶体硅太阳能电池镀膜生产中的一种工装夹具，尤其涉及晶体硅太阳能电池表面镀膜工序中用于硅片存取的装置。

背景技术：

在晶体硅太阳能电池生产过程中，都需在晶体硅太阳能电池表面制备一层减反射膜，现在流行的工艺是用PECVD方法在硅片表面镀覆一层氮化硅膜，国内使用的PECVD设备多数是德国roth-rau公司生产的平板式PECVD设备。在该设备中用于装载硅片进行镀膜的工装为石墨舟，其结构如附图1～2所示，它为一个板状的框格结构，在板状框架上等间距地设有36个方孔2，孔与孔之间由筋条3隔开，四周边1形成框架，方孔2用于放置硅片，在每个方孔2的左右两侧各设有限位钩4，它们能限定硅片上下、左右的自由度；在前后两侧各设有两根限位丝5，用于限定硅片前后方向的自由度。方孔2的大小与硅片相对应，在每个方孔内放入一片硅片，放满后通过框架上的轨道6滑入镀膜设备进行镀膜，这种石墨舟在硅片的放入或取出时，操作员都必须细心地用吸笔或其他手工工具准确操作，稍不留意硅片就会与框架磨擦，导致硅片四周缺口，严重时会使硅片破裂，这是硅片镀膜工序中的产生废品太多的一个工序，它是影响晶体硅太阳能电池生产成本的主要因素之一。

发明内容：

为克服现有石墨舟在存取硅片时所存在的上述不足，本发明提供了一种与石墨舟配套使用的硅片装卸装置。它与现有石墨舟配套使用，不仅简化了硅片在石墨舟上的存取，避免硅片与框架之间的摩擦，大幅度降低了硅片在取放过程中所产生的缺口或碎裂，提高了硅片在PECVD工序中的成品率，降低了生产成本，提高了生产效率。

本发明所述硅片装卸装置由底板21、石墨舟定位块22、顶托针23组成，石墨舟定位块22固定在底板21上，在石墨舟定位块22与底板21之间设有与滑轨6相对应的滑轨槽24，所述顶托针23分布在底板21的上端面，在与石墨舟上方孔2相对应的位置范围内均匀分布若干根顶托针23，当石墨舟安放在硅片装卸器上后顶托针23的高度略高于石墨舟的上端面。

将石墨舟套装在硅片装卸装置上，石墨舟由石墨舟定位块限位，固定在底板上的顶托针与石墨舟的方孔相对应，方孔中的硅片则由顶托针自动顶出；同样，硅片在存放时可直接放在顶托针上，当将石墨舟垂直升起后，硅片自动放在方孔内，这样不仅简化了硅片在石墨舟上的存取，避免硅片与框架之间的摩擦，大幅度降低了硅片在取放过程中所产生的缺口或碎裂，提高了硅片在PECVD工序中的成品率，降低了生产成本，提高了生产效率。

附图说明：

图1、图2为石墨舟的结构示意图；

图1为石墨舟俯视图；图2为石墨舟的局部剖视图；

其中：1-四周边；2-方孔；3-筋条；4-限位钩；5-限位丝；6-滑轨；21-底板；22-石墨舟定位块；23-顶托针；24-滑轨槽。

具体实施方式：

下面结合附图举例说明本发明的具体实施方式。

实施例1：石墨舟的结构如附图1～2所示，它为一个板状的框格结构，在板状框架上等间距地设有36个方孔2，孔与孔之间由筋条3隔开，四周边1形成框架，方孔2用于放置硅片，在每个方孔2的左右两侧各设有限位钩4，它们能限定硅片上下、左右的自由度；在前后两侧各设有两根限位丝5，用于限定硅片前后方向的自由度，方孔2的大小与硅片相对应，在每个方孔内放入一片硅片。

所述硅片装卸装置由底板21、两个石墨舟定位块22、一佰零捌根顶托针23组成，两个石墨舟定位块22分别固定在底板21上左侧面和前面，在石墨舟定位块22与底板21之间设有与滑轨6相对应的滑轨槽24，一佰零捌根顶托针23分成三十六个单元，每个单元由三根顶托针23，它们呈等腰三角形分布，所有顶托针23都固定在底板21的上端面，每个单元由三根顶托针23与石墨舟上方孔2相对应，当石墨舟安放在硅片装卸器上后顶托针23的高度略高于石墨舟的上端面。

本发明的使用方法：将石墨舟放置在硅片装卸装置上，使石墨舟的左侧面和前面分别紧贴两个石墨舟定位块22，此时，石墨舟上的左右两滑轨6分别位于滑轨槽24内，硅片装卸装置上顶托针能将石墨舟方孔中的硅片则自动顶出；同样，硅片在存放时可直接放在顶托针上，当将石墨舟垂直升起后，硅片自动放在方孔内，这样不仅简化了硅片在石墨舟上的存取，避免硅片与框架之间的摩擦，大幅度降低了硅片在取放过程中所产生的缺口或碎裂，提高了硅片在PECVD工序中的成品率，降低了生产成本，提高了生产效率。

在上例中，在每个方孔内设置了三根呈等腰三角形分布的顶托针，在其内均匀设置3根以上也可。