[发明专利]用于产生离子和游离基的系统和方法无效
| 申请号： | 200710145640.1 | 申请日： | 2007-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN101179897A | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·W·斯托厄尔;贡特尔·克莱姆;沃尔克·哈克;汉斯－格奥尔格·洛兹 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H05H1/34;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 产生 离子 游离 系统 方法 | ||
1.一种用于产生离子的系统，该系统包括：
具有放电腔室的外部电极；
在所述放电腔室内定位的内部电极，所述内部电极定位形成所述放电腔室的上部分以及所述放电腔室的下部分；以及
定位在所述放电腔室的下部分中的进气口；
其中在所述放电腔室的下部分内形成的等离子体提供用于在所述放电腔室的上部分中形成等离子体的激发粒子。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述内部电极在所述放电腔室内偏移以从而增加所述放电腔室的下部分的容积。
3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述内部电极为圆柱形。
4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述放电腔室为圆柱形。
5.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述放电腔室为不规则形状。
6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述内部电极具有多边形截面。
7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述外部电极包括锥形边沿。
8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述锥形边沿在所述锥形边沿和所述内部电极之间形成节距点。
9.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述外部电极包括第一部分和第二部分以及其中所述第一部分和所述第二部分电绝缘。
10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，进一步包括将所述外部电极的第一部分与所述外部电极的第二部分隔离的绝缘体。
11.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，进一步包括气体屏蔽，其中所述外部电极定位在所述气体屏蔽内。
12.根据权利要求11所述的系统，其特征在于，所述气体屏蔽包括开口部分，所述系统进一步包括：
在所述气体屏蔽的整个开口部分上定位的细丝。
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