[发明专利]化学过滤网装置

说明书

技术领域

本发明是有关一种化学过滤网装置，尤其是指一种由侧框内设有吸附单元，该吸附单元的二外侧各设有滤网，而该二滤网间设有一支撑结构，且该支撑结构中设有吸附剂，以提供使用于过滤空气的化学过滤网装置，适用于电子制造业的无尘室如IC、TFT、半导体制造业的无尘室或类似场地。

背景技术

随着半导体技术不断的进步，IC工艺线径不断的缩小，最新进的半导体技术已进入45nm，未来将更进一步地跨入22及32nm工艺技术，也由于IC线径不断的缩小，因此外部空气或无尘室内中含微污染(AirborneMolecular Contamination，AMC)物质，例如含硫物质：SO_X、H₂S、DMSO(Dimethyl Sulfoxide，(CH₃)₂SO)、DMS(Dimethyl Sulfide，(CH₃)₂S)等，酸性物质：NOX，碱性物质：NH₃、MEA(Monoethanol Amine，NH₂C₂H₄OH)等，含低沸点的挥发性有机化合物(Volatile OrganicCompounds，VOCs)、IPA(Isopropyl Alcohol，C₃H₇OH)、丙酮等，以及含高沸点的挥发性有机化合物(Volatile Organic Compounds，VOCs)等，对于工艺良率的影响，日益扩大。为了提升工艺良率，半导体厂通常需于外气空调箱及气流循环区加装化学过滤网。

公知的化学滤网往往无法兼顾去除成份、去除效率、压力损失、使用寿命及制造成本等因素，故实际使用上仍不符使用者的所需。

发明内容

本发明的目的在于提供一种化学过滤网装置，以克服公知技术中存在的缺陷。

为实现上述目的，本发明提供的化学过滤网装置，包括：

一正面框，设有至少一开口；

至少一侧框，该侧框与该正面框固定结合为一体；以及

至少一吸附单元，该吸附单元的二外侧各设有滤网，而该二滤网间设有一支撑结构，该支撑结构中设有吸附剂，且该吸附单元结合于该侧框中；

由此，以提供一化学过滤网装置。

所述的化学过滤网装置，其中，该支撑结构设为复数个，而该些支撑结构区隔为数层，且该些支撑结构间进一步设有滤网，以此设置不同的吸附剂。

所述的化学过滤网装置，其中，该支撑结构为网格状结构。

所述的化学过滤网装置，其中，该支撑结构为蜂巢状结构。

所述的化学过滤网装置，其中，该支撑结构为条格状结构。

所述的化学过滤网装置，其中，该支撑结构的侧边设有开孔。

所述的化学过滤网装置，其中，该吸附单元进一步结合于一吸附剂边框后再与侧框结合，该吸附剂边框结合于该支撑结构的外围，而该吸附剂边框再结合于侧框的内侧。

所述的化学过滤网装置，其中，该吸附单元制成薄片型，以利降低压力损失。

所述的化学过滤网装置，其中，该滤网为不织布滤网。

所述的化学过滤网装置，其中，该滤网为细网。

所述的化学过滤网装置，其中，该正面框的开口上进一步设有滤网。

所述的化学过滤网装置，其中，该侧框于外侧进一步设有一保护网。

所述的化学过滤网装置，其中，该二滤网的外侧进一步设有至少一支撑辅助结构以支撑该滤网。

本发明提供的化学过滤网装置，由该吸附单元装设时可替换成多种型式的支撑结构与吸附剂，而使本发明的化学过滤网可适用于各种场合及不同环境的需求，使去除效率更佳且降低了过滤的压力损失，并提高了化学过滤网的使用寿命，降低制造成本，增加本发明的实用性与便利性。

附图说明

图1为本发明实施例的立体外观图。

图2为本发明实施例的使用示意图。

图3为本发明实施例吸附单元与吸附剂边框的组合示意图。

图4为本发明实施例滤网外侧设有支撑辅助结构的组合示意图。

图5为本发明实施例条格状支撑结构与侧框结合的组合示意图。

图6为本发明吸附单元与侧框的组合剖示图。

图7为本发明吸附单元(吸附剂设于二层支撑结构中)与侧框的组合剖示图。

附图中主要组件符号说明：

10、正面框

11、开口

20、侧框

30、吸附单元

301、吸附剂

302、滤网