[发明专利]隔热镜片组

说明书

技术领域

本发明涉及一种用以测试感光元件的测试机台，特别涉及一种以隔热镜片组形成的密闭空间来隔离待测芯片表面与光源照射面的测试机台。

背景技术

为使感光元件(例如：CMOS Sensor)能够在低温环境下维持正常的功能，因此，感光元件的芯片在测试阶段，即需对上述芯片进行低温环境的测试。

图1为一种测试机台10的示意图，上半部份为测试座11，下半部份为放置待测芯片的垫块装置(chuck)13。测试座11中包含弹簧针头座(POGO Tower)12、测试探针座(Probe Card)14与测试头(Test Head)16，而测试头16上设置有接触待测芯片的测试探针18，一个可以提供光源通过的空腔15以及一个用来与弹簧针头座12及测试探针座14连接成一体的测试探针座固接器(Probe Card Holder)17。很明显地，在图1中的弹簧针头座12、测试探针座14以及测试头16中，均有一个穿透的中空孔洞，可以提供光源通过中空孔洞而照射在待测试芯片上。继续如图1所示，为了要使芯片能够保持在低温的状态，因此一般均将待测试芯片(Device UnderTest；DUT)与一个经过低温处理的垫块装置13接触，使得整个感光元件的待测试芯片也保持在即设的低温环境中。此时，当测试机台10上的测试探针座(probe card)14与处于低温状态的待测试芯片相距很近时，由于待测试芯片表面为低温而测试探针座14的表面为常温、甚至因为光源的照射而使得测试探针18的表面高于常温。当相对低温的表面与相对高温的表面相距很近时，会在整体的交界面产生一层水气，也可称为饱和水；因此当光源继续照设时，光线会经过水分子而使得光线产生反射、散射或绕射等物理现象，除了会使得到达待测试芯片上的光线混乱，进而使得测试结果产生错误，同时也会造成不必要的短路情形而损害机台。因此，为了能正确且快速的测试低温待测试芯片，就必须克服在测试进行中产生一层水气的问题。

发明内容

鉴于上述的发明背景中，为了能有效的测试处于低温的感光元件，本发明主要目的在提供一种隔热镜片组，可用以解决上述传统的低温所造成的水气问题。

有鉴于此，本发明首先提供一种隔热镜片组，是由一个具有贯穿孔的镜身主体以及镜身主体的贯穿孔的两相对端面上设置两个平行镜片来形成气密的空间，并且在镜身主体上设置抽气孔与指示元件，可使气密的空间形成真空状态。

本发明接着再提供一种感光元件的测试设备，在测试设备中加入隔热镜片组，以通过隔热镜片组所形成的真空空间来隔离待测芯片表面与光源照射面，以使低温面与常温面被隔离，因此不会产生水气。

本发明进一步提供一种感光元件的测试设备，在测试设备中加入一对镜片组并直接固接于弹簧针头座的中空开口的两端上，以形成气密的空间，并通过测试设备上的真空抽气装置，使得气密的空间保持在真空状态，以使低温面与常温面被隔离，因此不会产生水气。

附图说明

图1为先前技术测试机台的示意图；以及

图2A为本发明的隔热镜片组示意图；

图2B为本发明的隔热镜片组示意图；

图3为本发明一具体实施例的测试机台示意图；以及

图4为本发明一具体实施例的测试机台示意图；

主要元件标记说明

11         测试座          12      弹簧针头座

13         垫块装置        14      测试探针座

15         空腔            16      测试头

17         测试探针座固接器18      测试探针

20         隔热镜片组件    21      螺丝孔

22         镜身主体        23      O型环

24、25     镜片组          26      抽气孔

28         指示元件        40      真空抽气装置

具体实施方式

本发明在此所探讨的方向为一种测试机台。为了能彻底地了解本发明，将在下列的描述中提出详尽的步骤及其组成。显然地，本发明的施行并未限定于测试机台的技术人员所熟习的特殊细节。另一方面，众所周知的测试机台的组成或步骤并未描述于细节中，以避免造成本发明不必要的限制。本发明的较佳实施例会详细描述如下，然而除了这些详细描述之外，本发明还可以广泛地施行在其他的实施例中，且本发明的范围不受限定，其以权利要求为准。