[发明专利]具有光补偿腔的基板及以此基板形成的发光元件

权利要求书

1.一种具有光补偿腔的基板，用于外延形成一可以光电效应产生光的量子单元；其特征在于：

该基板包括一具有一上表面的层体、多数个形成在该上表面的环围体，及多数个形成在该上表面的中心体，该多数个环围体彼此以预定光波长四分之一的整数倍为间隔规则的周期排列，并界定出多数个等边长的多边形区间，该多数个中心体，分别对应位于该多数个等边长的多边形区间的中央而使环围任一中心体的环围体对应该中心体的中心轴线呈径向对称，且环围任一中心体的多数环围体与该被环围的中心体共同形成一个可限制光产生驻波并增强光散射的光补偿腔。

2.如权利要求1所述的具有光补偿腔的基板，其特征在于：该环围体是自该上表面一体向上凸伸且高度介于1～3μm，半径介于0.5～2μm的圆柱。

3.如权利要求2所述的具有光补偿腔的基板，其特征在于：该中心体是自该上表面一体向上凸伸且高度介于1～3μm，边长介于2～6μm的六角柱。

4.如权利要求2所述的具有光补偿腔的基板，其特征在于：该中心体是自该上表面一体向上凸伸的圆柱。

5.如权利要求1所述的具有光补偿腔的基板，其特征在于：该环围体是自该上表面向下形成深度介于1～3μm，半径介于0.5～2μm的圆柱形凹孔。

6.如权利要求5所述的具有光补偿腔的基板，其特征在于：该中心体是自该上表面向下形成深度介于1～3μm，且截面呈边长介于2～6μm的六角柱孔。

7.如权利要求5所述的具有光补偿腔的基板，其特征在于：该中心体是自该上表面向下形成的圆柱形凹孔。

8.如权利要求1所述的具有光补偿腔的基板，其特征在于：该每一环围体是自该上表面一体向上凸伸且高度介于0.3～4μm，与该上表面相接的区域的径长介于0.5～2μm，高度径长的比值介于0.15～8的半椭球形。

9.如权利要求8所述的具有光补偿腔的基板，其特征在于：该每一中心体是自该上表面一体向上凸伸且高度介于0.3～4μm，与该上表面相接的区域的径长介于1～4μm，高度径长的比值介于0.3～4的半椭球形。

10.一种固态发光元件，以光电效应发光，包括一块基板、一个自该基板向上外延形成并可以光电效应产生光的量子单元，及二片间隔地设置在该量子单元上以相互配合而对该量子单元施加电能的电极；其特征在于：

该块基板具有一层体、多数个形成在该层体上表面的环围体，及多数个形成在该层体上表面的中心体，该多数个环围体彼此以预定光波长四分之一的整数倍为间隔形成规则的周期排列，并界定出多数个等边长的多边形区间，该多数个中心体分别对应位于该多数个等边长的多边形区间的中央，而使环围任一中心体的环围体是对应该中心体的中心轴线呈径向对称，且使环围任一中心体的多数环围体与该被环围的中心体共同形成一个可限制光产生驻波并增强光散射的光补偿腔。

11.如权利要求10所述的固态发光元件，其特征在于：该量子单元还具有一层第一型披覆层、一层第二型披覆层，及一层位于该第一、二型披覆层之间的活性层，该第一、二型披覆层相对该活性层形成量子能障而可以光电效应产生光子。

12.如权利要求11所述的固态发光元件，其特征在于：该量子单元还具有一层以透明且可导引电流横向扩散流通的材料形成在该第二型披覆层上的电流扩散层。

13.如权利要求12所述的固态发光元件，其特征在于：该二电极分别设置在该量子单元的电流扩散层与该第一型披覆层上以提供电能。

14.如权利要求13所述的固态发光元件，其特征在于：该环围体是自该上表面一体向上凸伸且高度介于1～3μm，半径介于0.5～2μm的圆柱。

15.如权利要求14所述的固态发光元件，其特征在于：该中心体是自该上表面一体向上凸伸且高度介于1～3μm，边长介于2～6μm的六角柱。

16.如权利要求14所述的固态发光元件，其特征在于：该中心体是自该上表面一体向上凸伸的圆柱。

17.如权利要求13所述的固态发光元件，其特征在于：该环围体是自该上表面向下形成深度介于1～3μm，半径介于0.5～2μm的圆柱形凹孔。