[发明专利]用于分子泵的涡轮叶片无效
| 申请号: | 200710142864.7 | 申请日: | 2007-08-01 |
| 公开(公告)号: | CN101092972A | 公开(公告)日: | 2007-12-26 |
| 发明(设计)人: | 朱岳 | 申请(专利权)人: | 朱岳 |
| 主分类号: | F04D29/38 | 分类号: | F04D29/38 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 100081北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 分子 涡轮 叶片 | ||
1.一种用于分子泵的涡轮叶片,其特征在于:
所述的涡轮叶片的整体轮廓为圆盘状,在其中央部位为开有安装孔的圆盘,在所述的圆盘的周围开有叶齿,所述的叶齿在径向沿圆周均布。
2.根据权利要求1所述的用于分子泵的涡轮叶片,其特征在于:
所述的叶齿为台阶式变截面叶齿。
3.根据权利要求2所述的用于分子泵的涡轮叶片,其特征在于:
所述的台阶式变截面叶齿与所述的圆盘形成倾斜角。
4.根据权利要求3所述的用于分子泵的涡轮叶片,其特征在于:
所述的台阶式变截面叶齿与所述的圆盘形成的倾斜角为30度。
5.根据权利要求3所述的用于分子泵的涡轮叶片,其特征在于:
所述的台阶式变截面叶齿与所述的圆盘形成的倾斜角为15度。
6.根据权利要求2所述的用于分子泵的涡轮叶片,其特征在于:
所述的台阶式变截面叶齿的台阶数≥2道,所述的台阶式变截面叶齿的台阶面为弧面(1),台阶根部(2)为倒角或圆弧过渡。
7.根据权利要求6所述的用于分子泵的涡轮叶片,其特征在于:
所述的弧面(1)其半径为8-15cm。
8.根据权利要求4或7所述的用于分子泵的涡轮叶片,其特征在于:
所述的台阶式变截面叶齿的台阶数为4道,叶齿的厚度由外向里依次为:0.1cm、0.2cm、0.3cm、0.4cm,每道台阶长度均为2.5cm,台阶根部(2)倒角0.05cm。
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