[发明专利]一种用于真空溅镀装置的辅助导引系统及装置

权利要求书

1.一种用于真空溅镀装置的辅助导引系统，包括设置于该真空溅镀装置一侧的至少一气压缸；分设于该气压缸二进出气口的二流量控制组件；设置于该气压缸外侧的一辅助氮气缸；以及以气压管路与该二流量控制组件连接的一方向控制组件；

其中，该辅助氮气缸包含一缸体及一活塞杆，其中一第一固定座连接该活塞杆前端固定于该门板一侧的前端，该第二固定座连接该缸体后端固定于该真空溅镀装置一侧的后端；

该气压缸具有一缸体、一活塞杆及一气缸加长轴，以该气缸加长轴前端固定于一第三固定座，并以该缸体后端固定于一第四固定座，该第三固定座固设于该第一固定座之上，该第四固定座则设置于该真空溅镀装置后侧靠近该第二固定座的一端；

该二流量控制组件设置于该气压缸缸体的二进出气口，并且以气压管路与该方向控制组件相连接；

其中，该导引步骤如下：

该方向控制组件，调控气压工作回路至预定状态；

该二流量控制组件，调控高压气体进出该气压缸的流量以控制门板作动的速度； 

该气压缸，提供辅助及缓冲动力使门板开启或关闭；以及

该辅助氮气缸，提供辅助动力使门板开启或关闭。

2.如权利要求1所述的一种用于真空溅镀装置的辅助导引系统，其中该预定状态为门板预开启状态或门板预关闭状态。

3.如权利要求1所述的一种用于真空溅镀装置的辅助导引系统，其中该方向控制组件为一电磁阀。

4.如权利要求1所述的一种用于真空溅镀装置的辅助导引系统，其中该二流量控制组件为一节流阀。

5.如权利要求1所述的一种用于真空溅镀装置的辅助导引系统，更包括该辅助氮气缸于一α角度时提供一辅助动力使门板继续作动。

6.如权利要求1所述的一种用于真空溅镀装置的辅助导引系统，更包括该气压缸于一β角度时提供一缓冲力道使门板停止于全开启或全关闭状态。

7.如权利要求5所述的一种用于真空溅镀装置的辅助导引系统，其中该α角度介于15度至45度之间。

8.如权利要求6所述的一种用于真空溅镀装置的辅助导引系统，其中该β角度介于55度至75度之间。

9.一种用于真空溅镀装置的辅助导引装置，包括：

一气压缸，设置于该真空溅镀装置一侧，以提供辅助动力；

二流量控制组件，分别设置于该气压缸的二进出气口，以调节高压气体流量；

一辅助氮气缸，设置于该气压缸的外侧，以提供辅助动力；以及

一方向控制组件，以气压管路连接于该二流量控制组件，将气压工作回路调控于预定状态；

其中，该辅助氮气缸包含一缸体及一活塞杆，其中一第一固定座连接该活塞杆前端固定于该门板一侧的前端，该第二固定座连接该缸体后端固定于该真空溅镀装置一侧的后端；

该气压缸具有一缸体、一活塞杆及一气缸加长轴，以该气缸加长轴前端固定于一第三固定座，并以该缸体后端固定于一第四固定座，该第三固定座固设于该第一固定座之上，该第四固定座则设置于该真空溅镀装置后侧靠近该第二固定座的一端；

该二流量控制组件设置于该气压缸缸体的二进出气口，并且以气压管路与该方向控制组件相连接。

10.如权利要求9所述的一种用于真空溅镀装置的辅助导引装置，其中该预定状态系为门板预开启状态或门板预关闭状态。

11.如权利要求9所述的一种用于真空溅镀装置的辅助导引装置，其中该方向控制组件为一电磁阀。

12.如权利要求9所述的一种用于真空溅镀装置的辅助导引装置，其中该二流量控制组件为一节流阀。

13.如权利要求9所述的一种用于真空溅镀装置的辅助导引装置，其中，当门板开启及关闭至一α角度，该辅助氮气缸即提供辅助动力帮助门板继续开启或关闭。

14.如权利要求9所述的一种用于真空溅镀装置的辅助导引装置，其中，当门板开启及关闭至一β角度，该气压缸即提供一缓冲力道使门板停止于全开启或全关闭状态。

15.如权利要求13所述的一种用于真空溅镀装置的辅助导引装置，其中该α角度介于15度至45度之间。

16.如权利要求14所述的一种用于真空溅镀装置的辅助导引装置，其中该β角度介于55度至75度之间。