[发明专利]准分子灯装置

权利要求书

1.一种准分子灯装置，其特征在于：

包括：准分子灯；

灯罩，容纳准分子灯，具有将从该准分子灯放射的紫外光输出的光照射口；

气体供给用配管，设置在灯罩内，位于与准分子灯平行且交互的位置，设有气体喷出口；以及

气体供给单元，向气体供给用配管中导入含水蒸气的惰性气体，

通过上述气体供给单元，绝对湿度被控制为预定值的惰性气体被供给到上述气体供给用配管中。

2.根据权利要求1所述的准分子灯装置，其特征在于：

上述绝对湿度换算成重量绝对湿度为0.5～6.5g/kg的范围。

3.根据权利要求1或2所述的准分子灯装置，其特征在于：

上述含水蒸气的惰性气体流过准分子灯和气体供给用配管之间，从灯罩的开口流出。

4.根据权利要求1或2所述的准分子灯装置，其特征在于：

在上述准分子灯周围设有遮光单元，该遮光单元对从准分子灯放射的紫外光中向与光照射口方向不同的方向放射的光进行遮挡。

5.根据权利要求1或2所述的准分子灯装置，其特征在于：

上述准分子灯由以下部分构成：放电容器，至少一部分由透过紫外光的电介质材料构成，在内部封入放电气体；第一电极，设置在该放电容器的外面；以及第二电极，与该第一电极至少经由一张电介质，设置在放电容器的内部或外部，

在设置于放电空间外部的电极的表面上形成有抗氧化性的保护膜。

6.根据权利要求1或2所述的准分子灯装置，其特征在于：

上述准分子灯由以下部分构成：放电容器，至少一部分由透过紫外光的电介质材料构成，在内部封入放电气体；第一电极，设置在该放电容器的外面；以及第二电极，与该第一电极至少经由一张电介质，设置在放电容器的内部或外部，

该准分子灯具备对紫外光具有透过性的保护管，在保护管内部容纳有准分子灯。