[发明专利]滤色器基板、使用其的彩色液晶显示器及修复其的方法无效
申请号: | 200710138643.2 | 申请日: | 2007-07-24 |
公开(公告)号: | CN101114076A | 公开(公告)日: | 2008-01-30 |
发明(设计)人: | 清水健也 | 申请(专利权)人: | NEC液晶技术株式会社 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335;G02F1/1362;G02F1/1343 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 黄启行;陆锦华 |
地址: | 日本神奈*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 滤色器基板 使用 彩色 液晶显示器 修复 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种滤色器基板、使用该滤色器基板的彩色液晶显示器及用于修复该滤色器基板的方法。具体,本发明涉及一种允许修复外来物质进入显示单元时产生的缺陷的设计和方法。
背景技术
彩色液晶显示器通常包括设有多种颜色的有色层的滤色器基板、面对该滤色器基板的阵列基板以及在这些基板之间填充和密封的液晶层。通过在对应于每个有色层的位置控制部分液晶层的透射率来显示颜色。
图8是用于常规彩色液晶显示器的滤色器基板的剖面图。该常规滤色器基板60包括在玻璃基板61上以晶格形成的作为光屏蔽膜的第一、黑色矩阵(下面,称为BM)63。接下来,包含红色(R)、绿色(G)和蓝色(B)颜料的光敏有色树脂被涂敷到该玻璃基板61,以便形成有色层64。在这些层上方,形成作为透明电极的铟-锡-氧化物(ITO)膜67。以此方式,通过光刻,以精细的晶格状图形制造滤色器基板60。
但是,当制造这种滤色器基板时,存在外来物质可能进入用于像素的有色层的问题。这种外来物质主要由清洁室中浮动的颗粒以及由制造装置产生的聚合材料、金属等组成。外来物质的这种进入可能引起诸如滤色器基板和反基板的电极之间短路以及降低显示质量的问题。
作为用于除去其制造工序过程中进入滤色器基板的外来物质的修复方法,例如,参考文献1(日本专利申请特-开公报号平5-333205)公开了一种通过机械抛光该有色层除去外来物质的方法。参考文献2和3(日本专利申请特-开公报号2004-53971和公报号平10-20115)公开了一种其中通过用激光束照射包含外来物质的缺陷区而除去外来物质和有色层,以及其中在该缺陷区上再次形成新有色层的修复方法。
但是,在上述公开的参考文献1至3中公开的滤色器基板的修复方法的所有情况中,要求在形成ITO膜(用于驱动液晶的电极层)之前修复包含外来物质的滤色器基板,该ITO膜是最上面的表面。那么,在该修复之后,需要在该修复的基板上形成ITO膜,但是在该ITO薄膜形成工序中,可能再次出现诸如外来物质进入的缺陷。为此,在最后阶段必须再次检查滤色器的最终产品。因而,利用这些方法的任意一种,该制造工序需要两次检查。一次是用于修复的探测缺陷的中间检查,另一次是形成ITO膜之后的滤色器的最终产品上的最终检查。结果,上述任意一种修复方法具有这种多次检查的需要可能引起成本增加的问题。
另外,在省略中间检查的情况下,在最终检查中,在有色层中可能发现外来物质。在此情况下,即使当使用上述任意一种修复方法时,公共电压也不再被施加到修复区,因为该修复区上的有色层和ITO膜被除去。因此,必须在那些区域上重新形成有色层和ITO膜。由此,使用上述修复方法可能增加制造工序数目,从而导致高成本的问题。
此外,当在最终检查中,在ITO薄膜上发现缺陷时,包含该缺陷的区域的ITO薄膜也必须被除去。如果,该修复区被留下,而没有ITO膜,那么公共电压不被施加到那些区域。那么,在那些区域上必须重新形成ITO膜。由此,使用上述修复方法可能增加制造工序的数目,从而导致高成本的问题。
下面将更具体地描述滤色器基板的常规制造工序。图9图示了常规滤色器基板的制造工序的流程图。下面参考图8和9简要地描述滤色器基板的常规制造工序。首先,在步骤S201中,在玻璃基板61上形成BM63(BM处理),此后,在步骤S202中,在其上形成每个有色层64(RGB处理)。接下来,在步骤S203中,执行中间检查,以便检查直到此时的处理结果。当此时发现缺陷时,在步骤S204中修复包含该缺陷的区域。在修复该缺陷之后或当没有缺陷时,在步骤S205中形成ITO膜67(ITO处理)。在ITO处理之后,在步骤S206中执行最终检查。当发现那些步骤中无缺陷时,在步骤S207中终止制造工序。当在那些步骤中发现缺陷时,在步骤S208中丢弃包含该缺陷的基板。代替,具有该缺陷的区域可以被修复,此后该制造工序可以被终止。
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