[发明专利]用于制造平板显示器的设备

权利要求书

1.一种平板显示器制造设备，其包括装载锁定室、馈送室和处理室，用于制造平板显示器，其中装载锁定室包括：

一真空室壳，在其中可建立真空；

一开口，其通过真空室壳的外围壁而形成以允许基板通过开口用于将基板装载到真空室壳中和从真空室壳卸载基板；

一门阀，其适合于打开/关闭开口；以及

末端执行器容纳凹槽，其在真空室壳的底壁处形成以分别容纳安装在装载锁定室外部的基板馈送自动机的末端执行器，每个末端执行器容纳凹槽都具有预定深度以允许一个相关的末端执行器在末端执行器容纳凹槽中竖直移动。

2.如权利要求1所述的平板显示器制造设备，其中装载锁定室进一步包括：

一基板引导，其沿真空室壳的底壁的外围边缘设置，该基板引导具有向真空室壳的中心部分倾斜的结构。

3.如权利要求1或2所述的平板显示器制造设备，其中装载锁定室进一步包括：

至少两个装载模具，其设置在真空室壳中同时彼此竖直地间隔开以分别在所述装载模具上装载基板；以及

设置在每个装载模具上的多个均匀间隔基板支持组件，每个基板支持组件都具有一个长度以允许末端执行器在插入到限定于装载模具和由基板支持组件所支撑的基板之间的间隙中的状态下竖直移动。

4.如权利要求1或2所述的平板显示器制造设备，其中装载锁定室进一步包括：

基板保护组件，其在被放置于底壁上的基板接触到该底壁的区域处设置在真空室壳的底壁上，该基板保护组件由硬度比基板低的材料制成。

5.如权利要求2所述的平板显示器制造设备，其中基板引导具有U形结构，该U形结构在其一侧具有开口以允许末端执行器通过基板引导。

6.如权利要求3所述的平板显示器制造设备，进一步包括：

校准器，其分别设置在装载模具周围以调节基板在装载模具上装载的位置。