[发明专利]用于制造平板显示器的设备

权利要求书

1.一种用于FPD制造设备中的上盖开/闭装置，所述FPD制造设备对加载到真空室中的基板执行所需的处理，所述上盖开/闭装置包括：

盖加载单元，以支持并旋转从所述真空室分开的上盖；及

轨道单元，以提供用于将所述盖加载单元移动到接近所述真空室的位置的移动路径；

其中可移动块被提供在该盖加载单元要与所述轨道单元耦合的部分，以允许所述盖加载单元在被置于在所述轨道单元上的状态沿所述轨道单元移动。

2.如权利要求1所述的开/闭装置，其中所述轨道单元包括：

主轨道，设置为平行于多个真空室的排列方向；以及

辅助轨道，设置为垂直于所述主轨道，以限定朝向所述真空室的相应一个的移动路径。

3.如权利要求2所述的开/闭装置，其中所述轨道单元具有公的交叉部分(凸)，并且要置于所述轨道单元上的可移动块具有母的交叉部分(凹)。

4.如权利要求2所述的开/闭装置，其中所述轨道单元具有母的交叉部分(凹)，并且要置于所述轨道单元上的可移动块具有公的交叉部分(凸)。

5.如权利要求3或4所述的开/闭装置，其中停止器被提供在所述轨道单元的交叉周围的预定位置以将所述盖加载单元的移动位置限制在所述轨道单元上。

6.如权利要求1所述的开/闭装置，其中摩擦减少装置被提供在与所述轨道单元接触的所述盖加载单元的所述可移动块的接触表面，以减少所述盖加载单元的移动时所导致的摩擦阻力。

7.如权利要求6所述的开/闭装置，其中所述摩擦减少装置是刚性球。

8.如权利要求1所述的开/闭装置，还包括：

驱动装置，提供在所述轨道单元上纵向或横向移动所述盖加载单元所需的驱动力。