[发明专利]导电部件制造方法有效
| 申请号: | 200710137042.X | 申请日: | 2007-07-19 |
| 公开(公告)号: | CN101110359A | 公开(公告)日: | 2008-01-23 |
| 发明(设计)人: | Y·吴;B·S·翁 | 申请(专利权)人: | 施乐公司 |
| 主分类号: | H01L21/288 | 分类号: | H01L21/288;H01L21/3205;H01L21/336 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 段晓玲;韦欣华 |
| 地址: | 美国康*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 导电 部件 制造 方法 | ||
1.一种制造导电部件的方法,包括:
(a)液体沉积包括起始成分的低粘度组合物,该起始成分包括有机 胺、银化合物和任选的有机酸以得到沉积的组合物;和
(b)加热沉积的组合物,
得到包括银的导电部件。
2.权利要求1的方法,其中有机酸是羧酸。
3.权利要求1的方法,其中有机胺选自乙醇胺、氨基丙醇、二乙 醇胺、2-甲基氨基乙醇、N,N-二甲基氨基乙醇、甲氧基乙胺、甲氧基 丙胺、二氨基乙烷、二氨基丙烷、 二氨基丁烷、二氨基环己烷及其 混合物。
4.权利要求1的方法,其中有机胺是乙醇胺,银化合物是乙酸 银,和有机酸是带有至少10个碳原子的羧酸。
5.权利要求1的方法,其中有机酸是带有至少9个碳原子的羧 酸。
6.权利要求1的方法,其中有机酸选自壬酸、癸酸、香茅酸、香 叶酸、十一碳烯酸、月桂酸、肉豆蔻酸、棕榈酸、油酸、其异构体及 其混合物。
7.权利要求1的方法,其中液体沉积由液体印刷完成。
8.权利要求1的方法,其中起始成分进一步包括选自醇、醚、酯、 水、芳族物质及其混合物的液体。
9.权利要求8的方法,其中醇选自甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、乙 二醇、甲氧基乙醇、乙氧基乙醇、甲氧基丙醇、乙氧基丙醇、甲氧基 丁醇、二甲氧基二醇及其混合物。
10.一种方法,包括:
制造薄膜晶体管,该薄膜晶体管包括半导体层,栅电极;与半导 体层接触的源电极;与半导体层接触的漏电极;和布置在半导体层和 栅电极之间的栅电介质,
其中选自栅电极、源电极和漏电极的至少一个电极由电极制造方 法形成,该电极制造方法包括:(i)液体沉积包括起始成分的低粘度组 合物,该起始成分包括有机胺、银化合物和任选的有机酸以得到沉积 的组合物;和(ii)加热沉积的组合物,得到至少一个包括银的电极。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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