[发明专利]导电部件制造方法有效

专利信息
申请号: 200710137042.X 申请日: 2007-07-19
公开(公告)号: CN101110359A 公开(公告)日: 2008-01-23
发明(设计)人: Y·吴;B·S·翁 申请(专利权)人: 施乐公司
主分类号: H01L21/288 分类号: H01L21/288;H01L21/3205;H01L21/336
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 段晓玲;韦欣华
地址: 美国康*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 导电 部件 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种制造导电部件的方法,包括:

(a)液体沉积包括起始成分的低粘度组合物,该起始成分包括有机 胺、银化合物和任选的有机酸以得到沉积的组合物;和

(b)加热沉积的组合物,

得到包括银的导电部件。

2.权利要求1的方法,其中有机酸是羧酸。

3.权利要求1的方法,其中有机胺选自乙醇胺、氨基丙醇、二乙 醇胺、2-甲基氨基乙醇、N,N-二甲基氨基乙醇、甲氧基乙胺、甲氧基 丙胺、二氨基乙烷、二氨基丙烷、  二氨基丁烷、二氨基环己烷及其 混合物。

4.权利要求1的方法,其中有机胺是乙醇胺,银化合物是乙酸 银,和有机酸是带有至少10个碳原子的羧酸。

5.权利要求1的方法,其中有机酸是带有至少9个碳原子的羧 酸。

6.权利要求1的方法,其中有机酸选自壬酸、癸酸、香茅酸、香 叶酸、十一碳烯酸、月桂酸、肉豆蔻酸、棕榈酸、油酸、其异构体及 其混合物。

7.权利要求1的方法,其中液体沉积由液体印刷完成。

8.权利要求1的方法,其中起始成分进一步包括选自醇、醚、酯、 水、芳族物质及其混合物的液体。

9.权利要求8的方法,其中醇选自甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、乙 二醇、甲氧基乙醇、乙氧基乙醇、甲氧基丙醇、乙氧基丙醇、甲氧基 丁醇、二甲氧基二醇及其混合物。

10.一种方法,包括:

制造薄膜晶体管,该薄膜晶体管包括半导体层,栅电极;与半导 体层接触的源电极;与半导体层接触的漏电极;和布置在半导体层和 栅电极之间的栅电介质,

其中选自栅电极、源电极和漏电极的至少一个电极由电极制造方 法形成,该电极制造方法包括:(i)液体沉积包括起始成分的低粘度组 合物,该起始成分包括有机胺、银化合物和任选的有机酸以得到沉积 的组合物;和(ii)加热沉积的组合物,得到至少一个包括银的电极。

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