[发明专利]激光加工方法及激光加工装置有效
| 申请号： | 200710136115.3 | 申请日： | 2007-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN101134267A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 荒井邦夫;北泰彦;伊藤靖 | 申请（专利权）人： | 日立比亚机械股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/04 | 分类号： | B23K26/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 加工 方法 装置 | ||
1.一种激光加工方法，利用旋转轴线为X方向的X镜和旋转轴线为Y方向的Y镜来定位激光并使其入射到聚光透镜，再利用聚光后的激光进行加工，其特征在于，
设有修正上述X镜或上述Y镜的反射面的曲率的光学单元；
将上述光学单元配置在上述激光的光轴上；
使上述激光的X方向和Y方向的聚光位置在光轴方向上一致。
2.根据权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，
上述光学单元是柱面透镜或柱面镜。
3.根据权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，
上述光学单元设置在1轴方向上，基于相对上述X镜及上述Y镜的各自中心的X方向的变形量的和与Y方向的变形量的和的差来决定上述光学单元的焦距。
4.根据权利要求3所述的激光加工方法，其特征在于，
上述X方向的变形量的和与上述Y方向的变形量的和的差在0.1μm以上的场合设置上述光学单元，上述差不足0.1μm的场合不设置上述光学单元。
5.一种激光加工装置，具有旋转轴线为X方向的X镜、旋转轴线为Y方向的Y镜以及聚光透镜，利用上述X镜和上述Y镜来定位激光并使其入射到上述聚光透镜，再利用聚光后的激光进行加工，其特征在于，
设有修正上述X镜或上述Y镜的反射面的曲率的光学单元，将该光学单元配置在上述激光的光轴上；
使上述激光的X方向和Y方向的聚光位置在光轴方向上一致。
6.根据权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于，
上述光学单元是柱面透镜或柱面镜。
7.根据权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于，
上述光学单元设置在1轴方向上，基于相对上述X镜及上述Y镜的各自中心的X方向的变形量的和与Y方向的变形量的和的差来决定上述光学单元的焦距。
8.根据权利要求7所述的激光加工装置，其特征在于，
上述X方向的变形量的和与Y方向的变形量的和的差在0.1μm以上的场合设置上述光学单元，上述差不足0.1μm的场合不设置上述光学单元。
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