[发明专利]一种非晶硅纳米颗粒的制备方法无效
| 申请号： | 200710133857.0 | 申请日： | 2007-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN101172607A | 公开（公告）日： | 2008-05-07 |
| 发明（设计）人： | 陈晓原;刘治国;刘俊明 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021;B82B3/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利事务所 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210093江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 非晶硅 纳米 颗粒 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种非晶硅纳米颗粒的制备方法，其特征是该方法包括以下步骤：
(1)制备溶液：选用去离子水为溶液用以制备不含表面活性剂包覆的硅颗粒；或配置浓度范围在1.0-5.0mmol/L的十六烷基三甲基溴化铵溶液用以制备表面活性剂包覆的硅量子点；
(2)激光烧蚀液体环境中的硅靶：将硅靶置于盛有步骤(1)所制备的溶液的烧杯中，然后用准分子激光束辐照硅靶；
(3)取出硅靶，溶液中即含有所制备的非晶态硅量子点。
2.根据权利要求1所述的非晶硅纳米颗粒的制备方法，其特征是在步骤(2)中所述的准分子激光，为ArF，KrF或XeCl激光。
3.根据权利要求1所述的非晶硅纳米颗粒的制备方法，其特征是在步骤(2)中，在辐照期间，烧杯放置在一个可水平移动的电动平台上，以使激光束在靶上进行扫描。
4.根据权利要求1所述的非晶硅纳米颗粒的制备方法，其特征是在步骤(2)中，硅靶要完全浸入到溶液中，深度不超过5毫米。
5.根据权利要求1所述的非晶硅纳米颗粒的制备方法，其特征是在步骤(2)中，激光束通过透镜进行聚焦，焦点大小在4-10mm2，激光的能量密度在1×108-2×108W/cm2之间。
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