[发明专利]二维小量程力传感器

权利要求书

1.一种二维小量程力传感器，包括弹性体和应变片两部分，其特征在于所述弹性体由悬臂梁、与悬臂梁一端相连的加载端长方块、与悬臂梁另一端相连的固定端长方块组成；贯穿悬臂梁上下表面有一通槽，该通槽由位于悬臂梁加载端的“井”型孔和接近固定端的“口”型孔连通形成，贯穿悬臂梁前后表面还有另一个通槽，该通槽由位于悬臂梁固定端的“井”型孔和接近加载端的“口”型孔连通形成，两组通槽结构对称并相互交叉；在悬臂梁加载端的“井”型孔前后薄壁外表面分别沿中心线对称的各贴两片应变片，悬臂梁固定端的“井”型孔上下薄壁外表面分别沿中心线对称的各贴两片应变片；在固定端长方块前后表面分别贴有一组补偿片，每一组补偿片都包括弹性模量补偿片、零点温度补偿片、零点不平衡补偿片；加载端的四片应变片与一组补偿片组成用于测量水平方向力的惠斯登全桥；固定端的四片应变片与另一组补偿片组成用于测量垂直方向力的惠斯登全桥。