[发明专利]多级扩散泵有效
| 申请号： | 200710128393.4 | 申请日： | 2007-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN101105190A | 公开（公告）日： | 2008-01-16 |
| 发明（设计）人： | 小林克年;清水勇人;吉田哲也;千叶由昌 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立工业设备技术 |
| 主分类号： | F04D29/66 | 分类号： | F04D29/66;F04D29/24 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 何腾云 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多级 扩散 | ||
【权利要求书】：
1.一种多级扩散泵，具有：被旋转支撑在壳体内的旋转轴、安装在所述旋转轴上的多级叶轮、相对于所述多级叶轮设置在所述壳体内的圆板上的多级导向叶片和返回叶片；其特征在于，
所述叶轮具有相同的形状和相同的叶片片数，并由前后两级组合而成，至少一组叶轮的周向安装位置的相位前后错开降低噪音的规定间距。
2.如权利要求1所述的多级扩散泵，其特征在于，所述叶轮的周向安装位置的相位前后错开0.47个间距以上、0.53个间距以下。
3.如权利要求1所述的多级扩散泵，其特征在于，所述叶片的片数为偶数片。
4.如权利要求1所述的多级扩散泵，其特征在于，所述叶片的片数为奇数片。
5.如权利要求1所述的多级扩散泵，其特征在于，设置在所述圆板上的叶片的相位一致。
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